Here, we fabricate 3D polymeric micro/nano structures in which both the shape and the molecular alignment can be engineered with nanometer scale accuracy by the use of direct laser writing. Light induced deformation of several types of liquid crystalline elastomer microstructures can be controlled in the microscopic scale.
液晶エラストマー(種の保存法)は、外部刺激に応答して可逆的形状変化が可能なスマート材料であり、多くの分野の研究者の注目を集めています。研究のほとんどは、巨視的LCE構造(フィルム、繊維)に焦点を当て、それらの小型化はまだ始まったばかりです。近年、リソグラフィー技術を開発例えば 、マスク露光とレプリカ成形、のみLCE薄膜上に2次元構造を作成することを可能にします。直接レーザー書き込み(DLW)顕微鏡スケールで真に3D製作へのアクセスを開きます。しかし、同じ長さのスケールで作動トポロジとダイナミクスを制御することが課題です。
本稿では、任意の3次元形状のLCEの微細構造の液晶(LC)分子配向を制御する方法について報告します。これは、LCE構造の両方のための直接レーザー書き込みの組み合わせによってだけでなく、誘導microgratingパターンのために可能になりました地元の液晶配向。格子パターンのいくつかのタイプは、その後、LCE構造にパターニングすることができる別のLCアラインメントを導入するために使用されました。このプロトコルは、このように複数の機能することが可能な、1は複数の光学機械の作動を行うことが可能に設計整列してLCEの微細構造を得ることができます。アプリケーションは、調整可能なフォトニクス、マイクロロボット、ラボ・オン・チップ技術などの分野で予見することができます。
マイクロアクチュエータは、別のメカニズムやシステムの動作のための外部エネルギーを伝達することができる微細な構造です。小型及び遠隔制御機能には、それらは広くラボオンチップシステム1は、マイクロセンシング2、およびマイクロロボット3で使用されてきました。日付に利用可能なアクチュエータは、このような外部磁場と一方向に5を曲げヒドロゲルマトリックス4で腫れ/崩壊、収縮/としてだけの簡単な操作を行うことができます。最近開発された技術は、顕微鏡スケールの作動構造6を製造するために有効にしているが、まだ同じ長さスケールでこれらの作動を制御するための大きな課題です。本論文では、3次元光が制御可能な作動特性を有する微細構造を活性化させる準備する方法を報告します。技術は、直接レーザ書き込み(DLW)に基づいており、それは、液晶エラストマー(種の保存法)で実証されています。
種の保存法はSOFありますエラストマーと液晶配向性をコーミングTポリマー。外部刺激7の様々なタイプの下に- (400%20)、これらの材料は、大きな変形が可能です。マイクロアクチュエータのため種の保存法を使用する利点は、顕微鏡スケール8での作動を制御することが可能な構造で工学分子秩序の利便性です。 LCモノマーは単一工程光重合を可能にする、アクリレート部分と合成されます。このプロパティは、3D微細構造の製造のためのリソグラフィ技術の異なるタイプへのアクセスを提供します。光反応性分子のようなアゾ染料は、共重合法によってポリマーネットワークにリンクされています。そのような分子は、光制御変形を与えるシステムの光誘起される加熱しながら( シス異性にトランス )の強い光の応答能力を兼ね備えています。
DLW感光materiにポリマー構造を得るための手法であります集光レーザービーム9の空間制御によるアル。 DLWは、分子配向6を失うことなく、LCEでの3Dフリーフォームの構造を作成することができます。 LCEのマイクロアクチュエータの製造におけるDLWのいくつかの利点があります。まず、解像度はサブミクロンスケールに到達することができ、および構造は6本当に3Dです。以前に報告されたLCEの微細加工方法、 例えば 、10μm程度だけまでの解像度を提供し、マスクされた露光10と11を成形レプリカは、2D幾何学的形状を有します。第二に、DLWは、非接触製造プロセスです。適切な溶媒は、設計されたコンフィギュレーションを維持し、高品質な構造を開発することができます。レプリカ成形技術はほとんどサブミクロン分解能12を与えないし、構造品質を制御することは困難です。第三に、レーザ書き込みは、顕微鏡スケール8,13でローカルLCの向きのための多目的なオプションを提供しています。 LC配向技術の種々のタイプのうち、ラビングは、MOSあります液晶分子を配向するための効率的な方法をtと広くLCE薄膜の調製に使用されています。これは、一般に、LCモノマーによって浸潤細胞の内部表面に微細溝を生成するためにポリマー層上に擦ることにより達成されました。表面アンカー効果により、このような微小溝は、溝方向に沿ったLC分子を配向することができます。 DLWははるかに高い精度で事前に設計された方向に選択領域上でこれらの微細溝の直接的な製造を可能にします。すべてのこれらの機能は、DLW顕微鏡スケールでの製造および作動の制御のための完璧な、ユニークな手法にします。
DLWに基づいて、LCE微細構造は、異なる分子配向してパターニングすることができます。単一LCE構造内の化合物の配置で、多機能の作動が可能となります。この方法は、液晶モノマー混合物のいずれかの種類にLCEのマイクロアクチュエータの製造に使用することができます。さらに化学工学では、することが可能です異なる波長で他の刺激源に敏感なアクチュエータ、 例えば 、湿度や照明。
IP-Lマイクロ格子配向技術は、液晶性モノマーを配向するDLWと一体化されています。その後、レーザー書かLCEの微細構造は、マイクロスケールで設計されたアライメントでパターニングすることができます。この技術は、私たちは複数の機能をサポートすることができる化合物をLCE要素を作成することができます。正確な3次元微細構造および作動の制御を作成するための優れた能力で、我々はこの技術は、エラストマーベースの微視的ロボット14を作成するために使用されるように、光波長可変装置15の取得のための新しい戦略の過多を開くことを期待しています。
準備中の2つの重要なステップがあります。第1は、セルの2つのガラスはしっかりと(ステップ1.4、1.5)接着されるべきであるということです。 UV硬化接着剤は、開発中のセル構造の安定性を保持その他の点でセルのガラスの移動は、最悪の整列をもたらしますLCE。 100倍の対物レンズを選択しながら第二に、LCE構造書き込み時のレーザ書き込み速度はできるだけ高くすべきです。レーザー書き込み処理中にLCEの強い腫脹に、膨潤した構造は、このようにして作製したアクチュエータの品質に影響を与える、設計上の位置を移動します。
いくつかの場合において、光誘導された変形は、構造体が劣化することが観察されます。これは、高照度下での色素漂白が原因である可能性があります。色素分子がオフされると、LCE構造は、透明媒質として動作し、光吸収/光による変形が抑制されます。下のレーザーパワーは、LCEの微細構造の作動のためのより安全であろう。
この方法のいくつかの欠点もあります。まず、全体のプロセスは、比較的長い時間を要します。セル構成を維持するために、最初のIP-Lの開発プロセスは、(SAMPを浸漬することによって作製します溶媒浴中ル)は、セルを開くことなく、2-プロパノール中で行われます。現像時間は、このようにセルサイズ及びギャップの厚さに依存するが、通常12とり – 24時間。このようなレーザー誘起アブレーションパターンとレーザー誘起化学的に修飾された表面のような他のレーザ書き込み可能なパターンで格子IP-Lの交換、LC配列にし、製造時間の大幅な削減につながる可能性があります。第二に、LCEは、常にガラス基板上に接着を受けるソフトマターです。微細構造が表面に付着すると、光による変形が抑制されました。第三に、構造体の高さは、セルの厚さと対物作動距離によって制限されます。レーザー書き込みシステムでは、最大高さは約100μmです。最近開発された3Dプリント技術は、巨視的なスケールにメゾスコピックからの光作動LCE構造を作成するための良い候補である可能性があります。しかし、重合中に分子配向を維持することができ懸念の主な問題です。
一つは、他の既存の技術では不可能である、真のマイクロスケールでの3D自由形式のアクチュエータを得ることができるので、この技術は独特です。 LCEの微細構造は、異なる分子配向と機能でパターン化することができます。さらに化学工学によって、このような技術の実装は、他の刺激源へのアクチュエータを敏感にするために可能になり、効率的なマイクロロボットとソフトフォトニックデバイスを開発するために開きます。
The authors have nothing to disclose.
これらの結果につながる研究は、[291349]フォトニックマイクロロボット工学上とIITのSEEDプロジェクトMicroswimからoを欧州連合(EU)のセブンス枠組み計画(FP7 / 2007から2013)/ ERC助成金の契約nの下で欧州研究評議会から資金提供を受けています。また、エンテカッサ・ディRisparmioディフィレンツェによる支援を認めます。私たちは、フィードバックや議論のためのレンズで複雑系グループの全体オプティクスに感謝します。
LC monomer | SYNTHON Chemicals GmbH & Co. KG | ST03866 | 78 mol % in the mixture |
LC crosslinker | SYNTHON Chemicals GmbH & Co. KG | ST03021 | 20 mol % in the mixture |
Azo dye | Synthesis referring to Ref.6 | 1 mol % in the mixture. Light sensitive component, can be excluded in the fabrication for heat driven actuators. | |
Initiator | Sigma | Irgacure 369 | 1-2 mol % in the mixture |
Spacer | Thermo scientific | Microsphere with diameter from 10 to 100 µm. | |
IP-L | Nanoscribe GmbH | ||
UV curing glue | IP-L with 1 wt% initiator (Irgacure 369) | ||
Microscope cover slide | MENZEL-GLÄSER | Diameter: 1 or 3 mm | |
Thickness: 0,16-0,19 mm | |||
UV LED lamp | Thorlabs | M385L2-C4 | |
532 nm laser | Shanghai Dream Lasers | SDL-532-500T | 500 mW laser |
Direct Laser Writing system | Nanoscribe GmbH | ||
Hot plate | Linkam Scientific Instruments Ltd. | PE120 | |
Microscope | Zeiss | Axio Observer A1 | |
Micro-manipulator | Narishige | MHW-3 |