Fabrication of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thermoelectric Thin Films using Radio Frequency Magnetron Sputtering Technique

Nurfarhana Ahmad Musri; Yoganash Putthisigamany; Puvaneswaran Chelvanathan; Norasikin Ahmad Ludin; Nadhrah Md Yatim; Ubaidah Syafiq

doi:10.3791/66248

Journal

Engenharia

Deposition of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

May 17, 2024

ייצור יריעות דקות תרמואלקטריות Bi₂Te₃ ו- Sb₂Te₃ באמצעות טכניקת התזה של מגנטרון בתדר רדיו

00:45 min

•

1,047 Views

תדר רדיו מגנטרון מקרטע של Bi₂Te₃ ו- Sb₂Te₃ סרטים דקים תרמואלקטריים על מצעי זכוכית

03:39 min

•

384 Views

Nurfarhana Ahmad Musri¹, Yoganash Putthisigamany¹, Puvaneswaran Chelvanathan¹, Norasikin Ahmad Ludin¹, Nadhrah Md Yatim², Ubaidah Syafiq¹

¹Solar Energy Research Institute (SERI),Universiti Kebangsaan Malaysia, ²Faculty of Science and Technology,Universiti Sains Islam Malaysia

Summary

כתב היד מתאר פרוטוקול להתזת מגנטרון בתדרי רדיו של יריעות דקות תרמואלקטריות Bi₂Te₃ ו- Sb₂Te₃ על מצעי זכוכית, המייצג שיטת שיקוע אמינה המספקת מגוון רחב של יישומים עם פוטנציאל לפיתוח נוסף.

Deposition of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

ייצור יריעות דקות תרמואלקטריות Bi2Te3 ו- Sb2Te3 באמצעות טכניקת התזה של מגנטרון בתדר רדיו

תדר רדיו מגנטרון מקרטע של Bi2Te3 ו- Sb2Te3 סרטים דקים תרמואלקטריים על מצעי זכוכית

Summary

Article

Deposition of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

ייצור יריעות דקות תרמואלקטריות Bi₂Te₃ ו- Sb₂Te₃ באמצעות טכניקת התזה של מגנטרון בתדר רדיו

תדר רדיו מגנטרון מקרטע של Bi₂Te₃ ו- Sb₂Te₃ סרטים דקים תרמואלקטריים על מצעי זכוכית