Questo articolo descrive un processo di produzione semplice e veloce di materiali compositi elettromeccanici attivi ionici per attuatori in applicazioni di robotica biomedica, biomimetica e morbida. I passaggi chiave di fabbricazione, la loro importanza per le proprietà finali degli attuatori e alcune delle principali tecniche di caratterizzazione sono descritti in dettaglio.
I laminati capacitivi elettromeccanicamente attivi sono un tipo di materiale intelligente che si muove in risposta alla stimolazione elettrica. A causa della natura morbida, conforme e biomimetica di questa deformazione, gli attuatori fatti del laminato hanno ricevuto un crescente interesse per la robotica morbida e le applicazioni (bio)mediche. Tuttavia, sono necessari metodi per fabbricare facilmente il materiale attivo in grandi quantità (anche industriali) e con un’elevata ripetibilità batch-to-batch e all’interno del lotto per trasferire le conoscenze dal laboratorio all’industria. Questo protocollo descrive un metodo semplice, industrialmente scalabile e riproducibile per la fabbricazione di laminati capacitivi elettromeccanici ionici a base di carbonio e la preparazione di attuatori realizzati. L’inclusione di uno strato intermedio passivo e chimicamente inelusivo (insolubile) (ad esempio, una rete polimerica rinforzata con tessuti o teflon microporoso) distingue il metodo dagli altri. Il protocollo è suddiviso in cinque fasi: preparazione della membrana, preparazione degli elettrodi, attacco del collettore corrente, taglio e sagomatura e azionamento. Seguendo il protocollo si ottiene un materiale attivo che può, ad esempio, afferrare e contenere in modo conforme un oggetto a forma casuale, come dimostrato nell’articolo.
Polimeri ionici elettromeccanici attivi o compositi polimerici sono materiali intrinsecamente morbidi e conformi che hanno ricevuto un crescente interesse per diverse applicazioni robotiche e biomimetiche (ad esempio, come attuatori, pinze o robot bioispirati1,2). Questo tipo di materiale risponde ai segnali elettrici nella gamma di pochi volt, che li rende facili da integrare con l’elettronica convenzionale e le fonti di alimentazione3. Sono disponibili molti tipi diversi di materiali di base dell’attuatore ionico, come descritto in dettaglio altrove4, e di recente5. Inoltre, recentemente è stato sottolineato in particolare che lo sviluppo di dispositivi robotici morbidi sarà strettamente legato allo sviluppo di processi di produzione avanzati per materiali e componenti attivi rilevanti6. Inoltre, l’importanza di un flusso di processo efficiente e consolidato nella preparazione di attuatori riproducibili che hanno il potenziale per passare dal laboratorio all’industria è stata evidenziata anche in precedenti studi basati su metodi7.
Nel corso degli ultimi decenni, molti metodi di fabbricazione sono stati sviluppati o adattati per la preparazione di attuatori (ad esempio, fusione strato per strato8 e pressatura a caldo9,10, impregnazione-riduzione11, pittura12,13, o sputtering e successiva sintesi elettrochimica14,15, stampa a getto d’inchiostro16 e spin-coating17); alcuni metodi sono più universali, e alcuni sono più limitanti in termini di selezione del materiale rispetto ad altri. Tuttavia, molti dei metodi attuali sono piuttosto complicati e/o più adatti per la fabbricazione su scala di laboratorio. Il protocollo attuale si concentra su un metodo di fabbricazione dell’attuatore veloce, ripetibile, affidabile, automatizzabile e scalabile per produrre laminati attivi con bassa variabilità batch-to-batch e all’interno del lotto e una lunga durata dell’attuatore18. Questo metodo può essere utilizzato dagli scienziati dei materiali per sviluppare attuatori ad alte prestazioni per la prossima generazione di applicazioni bioispirate. Inoltre, seguendo questo metodo senza modifiche, gli ingegneri di robotica morbida e gli insegnanti un materiale attivo per lo sviluppo e la prototipazione di nuovi dispositivi o per l’insegnamento di concetti di robotica morbida.
Polimeri o attuatori polimerici elettromeccanici ionici attivi sono tipicamente costituiti da compositi laminari a due o tre strati e si piegano in risposta alla stimolazione elettrica nell’intervallo di pochi volt (Figura 1). Questo movimento di piegatura è causato dagli effetti di gonfiore e contrazione negli strati degli elettrodi, ed è tipicamente portato con sé o da reazioni faradaiche (redox) sugli elettrodi (ad esempio, in caso di polimeri elettromeccanici attivi (EAP) come i polimeri conduttivi) o dalla carica capacitiva del doppio strato (ad esempio, negli elettrodi polimerici a base di carbonio, dove il polimero potrebbe agire solo come legante). In questo protocollo (Figura 2), ci concentriamo su quest’ultimo; mostriamo la fabbricazione di un composito elettromeccanico attivo che consiste di due elettrodi a base di carbonio ad alta superficie specifica che sono separati da una membrana io-conduttiva ionica inerte che facilita il movimento di cations e anioni tra gli elettrodi – una configurazione molto simile ai supercondensatori. Questo tipo di attuatore si piega in risposta alla carica/scarico capacitivo e al conseguente gonfiore/contrazione degli elettrodi è tipicamente attribuito alle differenze nel volume e nella mobilità di cations e anioni dell’elettrolita8,10,19. A meno che il carbonio funzionalizzato per superficie non venga utilizzato come materiale attivo o composito capacitivo venga utilizzato al di fuori della finestra potenziale di stabilità elettrochimica dell’elettrolita, non si prevede reazioni faradaiche su questo tipo di elettrodi20. La mancanza di reazioni faradaiche è il principale contributore alla vita beneficamente lunga di questo materiale attuatore (cioè migliaia di cicli in aria8,18 mostrati per diversi attuatori capacitivi).
Figura 1: La struttura dell’attuatore a base di carbonio nella versione neutra (A) e nello stato azionato (B). (B) evidenzia anche le caratteristiche chiave che determinano le prestazioni di un attuatore ionico. Nota: la figura non viene disegnata in scala. La dimensione degli ioni è stata esagerata per illustrare il meccanismo di azionamento più comunemente citato prevalente nel caso di una membrana inerte che consente la mobilità di entrambi gli anioni e le cazioni dell’elettrolita (ad esempio, liquido ionico). Fare clic qui per visualizzare una versione più grande di questa figura.
Ottenere una membrana funzionale che rimane intatta durante l’intero processo di fabbricazione è uno dei passaggi chiave nella preparazione efficace dell’attuatore. Una membrana ad alte prestazioni per un attuatore è il più sottile possibile e consente la conduttività ionica tra gli elettrodi bloccando qualsiasi conduttività elettronica. La conduttività ionica nella membrana può derivare dalla combinazione dell’elettrolita con una rete porosa inerte (ad esempio, l’approccio utilizzato in questo protocollo) o dall’utilizzo di polimeri specifici con unità ionizzate covalentmente incollate o altri gruppi che consentono interazioni con l’elettrolita. Il primo approccio è preferito qui per la sua semplicità, mentre le interazioni specificamente su misura tra l’elettrolita e la rete polimerica potrebbero anche avere vantaggi, se si possono escludere interazioni sfavorevoli (ad esempio, bloccando o rallentando significativamente il movimento iotecnico a causa delle interazioni). La vasta selezione di membrane ionomeriche o altrimenti attive per gli attuatori elettromeccanici attivi e i loro meccanismi di azionamento risultanti sono stati recentemente esaminati21. La selezione della membrana, oltre alla selezione degli elettrodi, svolge un ruolo cruciale nelle prestazioni, nella durata e nel meccanismo di azionamento dell’attuatore. Il protocollo attuale si concentra principalmente sulle membrane inevoche che forniscono la struttura porosa per la migrazione degli ioni (come mostrato nella Figura 1),anche se parti del protocollo (ad esempio, l’opzione membrana C) potrebbero rivelarsi utili anche per le membrane attive.
Oltre alla selezione del materiale della membrana, il suo metodo di fabbricazione svolge anche un ruolo importante nell’ottenere un separatore funzionale per il composito. Le membrane di colata utilizzate in precedenza tendono a fondersi durante la fase successiva di pressatura a caldo e possono quindi formare punti caldi a corto circuito22. Inoltre, le membrane ionomeriche commerciali (ad esempio, Nafion) tendono a gonfiarsi e fibbia in modo significativo in risposta ai solventi utilizzati nelle fasi di fabbricazione successive12e alcuni polimeri (ad esempio, la cellulosa23)sono noti per dissolversi in una certa misura in alcuni liquidi ionici, causando probabilmente problemi con la ripetizione del processo di fabbricazione e con conseguente scarsa uniformità degli elettrodi. Pertanto, questo protocollo si concentra sugli attuatori con un componente integrale passivo e chimicamente inerte nella membrana (ad esempio, fibra di vetro o seta con PVDF o PTFE) che impedisce al composito di gonfiarsi e alla deformazione nelle fasi di fabbricazione successive o alla formazione di circuiti brevi. Inoltre, l’aggiunta di un componente inerte e passivo semplifica notevolmente il processo di produzione e consente di ottenere lotti di dimensioni maggiori rispetto ai metodi più tradizionali.
L’inclusione di un rinforzo passivo nella membrana è stata introdotta per la prima volta da Kaasik et al. 18 per affrontare i problemi di cui sopra nel processo di produzione dell’attuatore. L’inclusione di un rinforzo tessile tessuto (vedi anche Figura 3B e 3D) introduce ulteriormente la capacità di integrare gli strumenti nel composito attivo24 o di sviluppare tessuti intelligenti18. Pertanto, l’opzione membrana C nel protocollo è più adatta per tali applicazioni. Tuttavia, nel caso di attuatori miniaturizzati (nel livello sub-millimetrico), il rapporto componente passivo-attivo nella membrana diventa sempre più sfavorevole e l’inclusione di un rinforzo tessile ordinato potrebbe iniziare a influenzare negativamente le prestazioni dell’attuatore e la ripetibilità da campione a campione. Inoltre, la direzione del rinforzo (lungo o diagonale rispetto alla direzione di piegatura) potrebbe influire sulle prestazioni di attuatori più complessi in modo imprevisto. Pertanto, una struttura inerte meno ordinata e altamente porosa sarebbe più vantaggiosa per gli attuatori miniaturizzati e forme attuatori più complesse.
Il politetrafluoroetilene (PTFE, noto anche sotto il nome commerciale Teflon) è uno dei polimeri più inerti conosciuti fino ad oggi. È tipicamente altamente idrofobico, ma esistono versioni idrofile che sono rese, che sono più facilmente utilizzabili nella fabbricazione dell’attuatore. La figura 3A illustra la struttura casuale di una membrana di filtrazione ptFE idrofila inerte utilizzata in questo protocollo per la preparazione dell’attuatore. Oltre all’uniformità di questo materiale in tutte le direzioni che è utile per tagliare attuatori miniaturizzati o forme complesse, utilizzando una membrana di filtrazione commerciale con porosità controllata semplifica ulteriormente il processo di fabbricazione dell’attuatore quasi eliminando la necessità di qualsiasi preparazione della membrana. Inoltre, gli spessori di membrana a partire da 30 m sono estremamente difficili da ottenere nella configurazione rinforzata con il tessuto descritta in precedenza. Pertanto, i metodi di fabbricazione dell’attuatore basati su PTFE (opzioni A e B) da questo protocollo dovrebbero essere preferiti nella maggior parte dei casi, considerando ulteriormente che l’opzione A è più veloce, ma gli attuatori realizzati utilizzando l’opzione B mostrano ceppi più grandi (nell’intervallo di frequenza presentato nella Figura 4B). La pinza morbida introdotta nella sezione dei risultati rappresentativi è stata preparata anche utilizzando la membrana PTFE imbevuta per la prima volta nell’elettrolita.
Dopo aver preparato una membrana funzionale, il protocollo continua con la preparazione dell’elettrodo e l’attacco corrente del collettore. Gli elettrodi a base di carbonio vengono aggiunti utilizzando il rivestimento a spruzzo, una procedura consolidata industrialmente che consente un elevato controllo sullo spessore dello strato di elettrodi risultante. Elettrodi più uniformi sono prodotti con rivestimento a spruzzo rispetto, ad esempio, al metodo di colata (o forse anche ad altri metodi liquidi) in cui si sa la sedimentazione delle particelle di carbonio durante l’essiccazione della pellicola25. Inoltre, un’ulteriore caratteristica del metodo di fabbricazione presentato si basa sulla strategia di selezione dei solventi più importante nel caso di membrane rinforzate in tessuto. Più precisamente, 4-metil-2-pentanone (il solvente nella soluzione di sospensione e colla elettrodo) non dissolve i rinforzi della membrana inerte o PVDF che viene utilizzato nella soluzione di membrana della membrana rinforzata tessile. Pertanto, il rischio di creare hotspot a corto circuito nel composito durante il rivestimento a spruzzo è ulteriormente ridotto.
Il laminato capacitivo è già attivo dopo l’applicazione di elettrodi di carbonio. Tuttavia, un ordine di grandezza attuatori più veloci26 sono ottenuti con l’applicazione di collezionisti di corrente d’oro. Un altro passo importante nel protocollo è l’attaccamento dei collettori attuali mentre l’elettrodo corrispondente è nello stato allungato (cioè, il composito è piegato). Pertanto, nello stato piatto neutro dell’attuatore, la foglia d’oro sarà allacciata nel livello submillimetrico. Questo approccio buffering-by-buckling27 consente deformazioni più elevate senza rottura rispetto a quanto sarebbe altrimenti possibile per una lastra di metallo fine (100 nm).
Tutte le fasi di produzione dell’attuatore (preparazione della membrana, irrorazione degli elettrodi, attacco del collettore corrente) sono state riassunte anche nella Figura 2. Per la dimostrazione di caratterizzazione delle prestazioni, abbiamo preparato una pinza che è conforme afferrare, tenere e rilasciare un oggetto di forma casuale con una trama di superficie casuale. Geometrie più semplici, come campioni rettangolari con proporzioni 1:4 o superiori (ad esempio, da 4 mm a 20 mm o anche da 1 mm a 20 mm28)ritagliate dal materiale attivo e bloccate in posizione a sbalzo sono anche molto tipiche per la caratterizzazione del materiale o altre applicazioni che utilizzano il comportamento del tipo di piegatura.
L’articolo si conclude con una breve introduzione alla tipica caratterizzazione del materiale capacitivo elettromeccanico elettromeccanicamente attivo e alle tecniche di risoluzione dei problemi utilizzando la geometria dell’attuatore rettangolare più semplice. Mostriamo come utilizzare comuni tecniche di caratterizzazione elettrochimica come la voltammetria ciclica (CV) e la spettroscopia elettrochimica di impedimento (EIS) per caratterizzare e risolvere i problemi del materiale attuatore in modo più dettagliato. La visualizzazione del composito a livello di sub-millimetri viene effettuata utilizzando la microscopia elettronica a scansione (SEM), per la quale utilizziamo la tecnica crio-fratturazione per preparare i campioni. La natura polimerica del materiale rende difficile ottenere sezioni trasversali chiare con solo taglio regolare. Tuttavia, l’interruzione dei campioni congelati produce sezioni trasversali ben definite.
Figura 2: Panoramica del processo di fabbricazione. I passaggi più importanti sono evidenziati. Fare clic qui per visualizzare una versione più grande di questa figura.
Abbiamo presentato un metodo di fabbricazione semplice, veloce, ripetibile e versatile per la preparazione composita elettromeccanicamente attiva per varie applicazioni attuatori, e con piccole modifiche anche per lo stoccaggio dell’energia, la raccolta33 o il rilevamentodi 34 applicazioni. Il metodo attuale si concentra sulle membrane con un componente passivo integrale e chimicamente inerte (ad esempio, una rete polimerica rinforzata con tessuti o una membrana di Teflon altamente porosa, vedi anche Figura 3) perché tali membrane semplificano significativamente il processo di preparazione dell’attuatore anche su larga scala. Inoltre, le membrane risultanti hanno un minor rischio di gonfiore e deformazione a causa di solventi (o elettroliti) nella sospensione dell’elettrodo o di formazione di hotspot a corto circuito rispetto a molti altri metodi e materiali di fabbricazione attuatore comuni.
I passaggi critici nella preparazione del laminato per attuatori capacitivi sono la preparazione della membrana, la fabbricazione degli elettrodi, l’attacco del collettore corrente, il taglio e il contatto (Figura 2). Ognuno di questi passaggi lascia spazio per la personalizzazione e l’ottimizzazione delle prestazioni, ma anche per gli errori. Nella sezione seguente discuteremo in dettaglio le modifiche vantaggiose e le strategie di risoluzione dei problemi di questo metodo di fabbricazione. Un composito ad alte prestazioni risulta dall’interazione di diversi aspetti chiave che devono essere tenuti a mente: sufficiente conduttività elettronica lungo l’elettrodo (aggiungere collettore a corrente d’oro agli elettrodi di carbonio); conduttività ionica sufficiente attraverso la membrana (utilizzare una sottile membrana porosa e una quantità sufficiente di elettrolita a bassa viscosità, ridurre il rischio di interazioni sfavorevoli tra la membrana e l’elettrolita utilizzando una rete polimerica inerte); superficie elevata dell’elettrodo (selezionare un tipo di carbonio adatto); elettroliti su misura che si traducono in gonfiore/contrazione asimmetrica degli elettrodi (selezionare un elettrolita adatto); parametri meccanici (Giovani dei componenti). Questi aspetti principali di un attuatore a base di carbonio ad alte prestazioni sono evidenziati anche nella Figura 1B.
Una membrana ad alte prestazioni è la parte centrale di questo composito. Ha due compiti: prevenire la conduttività degli elettroni (cortocircuiti) tra gli elettrodi consentendo un’elevata conduttività ionica. Le modifiche alla membrana potrebbero servire a diversi scopi, ad esempio l’integrazione degli utensili introdotta da Must et al.24 o l’aggiunta di nuove proprietà (ad esempio, biocompatibilità, biodegradabilità o diverse proprietà meccaniche). L’attuale metodo di fabbricazione potrebbe essere modificato per utilizzare altri polimeri ed elettroliti nella membrana per introdurre nuove proprietà al laminato attivo. Come la strategia di selezione dei solventi introdotta qui per gli attuatori rinforzati in tessuto, è consigliabile selezionare i solventi più poveri per la successiva fabbricazione di elettrodi rispetto alla preparazione della membrana. Questo assicura che la membrana rimanga funzionale e intatta anche dopo l’aggiunta di elettrodi.
Le prestazioni di azionamento del composito finale sono influenzate dal materiale elettrodo selezionato (carbonio), dall’elettrolita e possibilmente dalla loro compatibilità tra loro. Questo protocollo introduce la fabbricazione di laminati capacitivi a base di carbonio utilizzando carbonio derivato dal boro e 1-ethyl-3-methylimidazolium trifluoromethanesulne ([EMIM][OTf]) liquido ionico. Tuttavia, lo stesso protocollo è adattabile ad altri materiali carbonio ad alta superficie specifica, come carbonio derivato da carbide provenienti da altre fonti (ad esempio, TiC35, SiC o Mo2C36),nanotubi di carbonio8,37, aerogel di carbonio38 o grafene39,e altri, come anche esaminato di recente40. Inoltre, anche altri elettroliti potrebbero essere utilizzati nella preparazione dell’attuatore. Ottenere un composito funzionale non è limitato ai tipi di carbonio e liquidi ionici presentati in questo protocollo. La dimensione delle particelle di carbonio, la loro possibile agglomerazione nella sospensione dell’elettrodo e la viscosità delle sospensioni sono parametri più cruciali per il processo di rivestimento a spruzzo.
Questo metodo consente la produzione di materiale laminato elettromeccanicamente attivo con proprietà riproducibili in grandi quantità. La miniaturizzazione degli attuatori realizzati con questo materiale viene effettuata principalmente utilizzando il taglio ad alta precisione (ad esempio, Figura 3C). Metodi alternativi per la preparazione di strutture fini, come la mascheratura, e la modellazione sono possibili durante il rivestimento a spruzzo41. Inoltre, le strutture in scala millimetriche possono anche essere modellate nel successivo passo di attacco della corrente d’oro. Tuttavia, in scala sub-millimetria questo potrebbe diventare abbastanza difficile. Altri tipi di attuatori o attuatori a base di carbonio senza collettori a corrente d’oro potrebbero essere più facili da preparare, se le caratteristiche modellabili devono essere in scala micrometrica.
Gli attuatori intrinsecamente morbidi che rispondono agli stimoli elettrici hanno molti vantaggi grazie alla loro natura morbida e conforme, al funzionamento silenzioso e ai bassi livelli di tensione richiesti. Il protocollo attuale mostra come produrre tale materiale in grandi quantità e con elevata ripetibilità batch-to-batch e all’interno del lotto senza compromettere le prestazioni di attuazione. Le modifiche al metodo attuale per incorporare componenti più bio-compatibili e possibilmente anche biodegradabili che consentirebbero la chiusura operativa di organismi viventi oltre a approcci di incapsulamento totale di successo, e l’integrazione del materiale attivo introdotto in dispositivi robotici o biomedici morbidi sono previsti per il futuro.
The authors have nothing to disclose.
Gli autori desiderano ringraziare Ron Hovenkamp e Marcel Mulder di Philips Research per le discussioni utili. Questo lavoro è stato parzialmente sostenuto dal finanziamento istituzionale della ricerca IUT (IUT 20-24) del Ministero estone dell’Istruzione e della Ricerca, dell’onnippoli di ricerca estone (PUT1696), del Fondo europeo di sviluppo regionale, del programma Mobilitas Pluss (Grant No MOBTP47), del programma di ricerca e innovazione Orizzonte 2020 dell’Unione europea nell’ambito dell’accordo di sovvenzione Marie Skoodowska-Curie n. 793377 (BIOACT), e del progetto IMPACT-MII , un progetto di innovazione Sanitaria dell’EIT. EIT Health è sostenuta dall’EIT, un organismo dell’Unione europea.
~150 µm thick gold plates for custom contacts | local jeweler | 99.9% purity (24K) | |
1-ethyl-3-methylimidazolium trifluoromethanesulfonate ([EMIM][OTf]) | Solvionic | 99.5% | |
100 ml Erlenmeyer flask | |||
4-methyl-2-pentanone (MP) | Sigma Aldrich | ≥99% | |
acetone | technical grade | ||
analytical balance | Mettler Toledo AB204-S/PH | ||
carbon powder | Y Carbon | boron carbide derived carbon, particle size <10 µm, specific surface area 1800 m2/g, pore volume 0.5 cm3/g | |
carbon powder | Skeleton Technologies | titanium carbide derived carbon | |
circular disk magnets (neodymium) for custom contacts | local hardware store | d = 2 mm, thickness 1 mm | |
compressed air supply for the airbrush | |||
crocodile clips with jaws insulated from each other (Kelvin clips) | local hardware store | Optional for making custom contacts. Regular crocodile clips are not suitable because there the jaws are connected to each other at the spring. | |
disposable foam cup | |||
epoxy glue | local hardware store | preferaby fast cure epoxy for attaching gold contacts to magnets | |
filter paper for drying | Munktell, Filtrak | e.g. diameter 150 mm and up if 142 mm PTFE sheet is used. | |
flat nose tweezers | |||
glass funnel | |||
gold leaf on transfer sheets | Giusto Manetti Battiloro | 24K | |
graduated glass cylinder | |||
hairdryer or a heat gun | e.g. Philips | ||
infrared ligth bulb | e.g. Philips | ||
liquid nitrogen | CAUTION: Never close the lid of a liquid nitrogen container tightly. The pressure build-up could cause serious injuries. | ||
magnetic stirrer / hotplate | |||
magnetic stirrer bars | about 1 cm long | ||
metal pipe | e.g. d = 3 cm | ||
metal ruler | |||
micrometer thickness gauge | Mitotuyo | range 0-25 mm, precision 0.001 mm | |
N,N-dimethylacetamide (DMAc) | Sigma Aldrich | 99.5% | |
paintbursh | |||
plastic embroidery hoops | e.g. Pony | select the diameter depending on the desired batch size (e.g. 7.5 cm to 25 cm) | |
plastic Pasteur pipettes | |||
polyethylene-based laboratory stretch film | DuraSeal | ||
polyvinylidene difluoride-co-hexafluoropropylene (PVDF-HFP) | Sigma Aldrich | Mn = 130000, Mw = 400000 | |
polyvinylidene fluoride (PVDF) | Sigma Aldrich | Mw (g/mol) = 534000 | |
potentiostat/galvanostat/FRA | PARSTAT 2273 | needed for electrochemical characterization | |
propylene carbonate (PC) | Merck | 99% | |
PTFE filtration membrane | Omnipore | JVWP14225 | 0.1 µm pore size, hydrophilic , 142 mm diameter, 30 µm thickness, 80% porosity |
PTFE filtration membrane | Omnipore | JGWP14225 | 0.2 µm pore size, hydrophilic , 142 mm diameter, 65 µm thickness, 80% porosity |
scalpel | |||
scotch tape | |||
silk (woven textile) | Esaki Model Manufacturing | #3 | 11.5 g/m2 |
soldering equipment | local hardware store | For connecting the ~150 µm gold plates to the clips | |
spray gun, airbrush | Iwata HP TR-2 | ||
sputter coater | Leica EM ACE600 | ||
tabletop scanning electron microscope | Hitachi TM3000 | ||
ultrasonic processor | Hielscher UP200S |