A method of uniform thickness solution-derived chalcogenide glass film deposition is demonstrated using computer numerical controlled motion of a single-nozzle electrospray.
용액 계 일렉트로 성막 연속 롤 – 투 – 롤 공정과 호환, 칼 코겐화물 유리에 적용된다. 두 칼 코게 나이드 조성은 입증되어 모두 평면 중 적외선 (중반 IR) microphotonic 장치에 대해 광범위하게 연구 된 창 (23)의 Sb 7 S 70, S 40 60. 이 방법에서, 균일 한 두께의 필름은 컴퓨터 수치 제어 (CNC)의 움직임을 이용하여 제조된다. 칼 코겐화물 유리 (CHG)은 구불 구불 한 경로를 따라 하나의 노즐에 의해 기판 상에 기록된다. 필름 잔류 용매를 운전하고 영화 밀도를 높이기 위해 진공 상태에서 100 ° C와 200 ° C 사이의 열 치료의 일련 하였다. 송신 푸리에 기준 적외선 (FTIR) 분광기 변환 거칠기 측정 표면, 두 조성물은 중간 IR 영역에서 운전 평면 소자의 제조에 적합한 것으로 밝혀졌다. 잔류 용매제거는 창 (23)의 Sb (7) S (70)에 비해 40 S (60) 영화 훨씬 빠른 것으로 밝혀졌다. 전기 분사의 이점에 기초하여, 경사 굴절률 (GRIN) 중간 IR 투명 코팅의 다이렉트 인쇄는 본 연구에서 두 조성물의 굴절률 차는 주어진 구상된다.
칼 코게 나이드 안경 (ChGs)는 균일 한 두께, 담요 성막 1-3에 자신의 광범위한 적외선 전송 및 가공성 잘 알려져있다. 온칩 도파관 공진기 및 기타 광학 구성 요소는 리소그래피 기술에 의해 필름이 형성 될 수 있으며, 후속 중합체 코팅 microphotonic 장치 4-5를 제작. 우리가 개발 한 키 탐색 애플리케이션은 많은 유기종 광학 서명 6이 중앙 IR에서 동작 작고 저렴 고감도 화학 센싱 장치이다. Microphotonic 화학 센서는 방사선 (감마 및 알파)에 노출 가능성이 원자로, 근처의 열악한 환경에 배포 할 수 있습니다. 따라서 만성 위염 전기 분무 재료의 광학적 특성의 수정의 광범위한 연구는 매우 중요하며 또 다른 논문에서보고됩니다. 그것은 단지 최근에 방법으로이 글에서는 ChGs의 전기 분무 필름 증착이 전시된다ChGs 7에 적용.
벌크 증감 타겟 열 증발과 같은 스핀 코팅 아민 용매에 용해 만성 위염의 용액을하는 등 용액 파생 기술로서 증착 기술 : 기존의 성막 방법은 두 가지로 분류 될 수있다. 일반적으로, 예를 들면 (용액 유래 필름 인해 막 매트릭스 (3)의 잔류 용매의 존재로 인해 광 신호의 더 높은 손실이 발생하는 경향이 있지만, 증착을 통해 용액 파생 기술의 유일한 장점은 나노 입자의 단순 결합이며 양자점 또는 양자점) 이전에 스핀 코팅하는 8-10. 그러나, 나노 입자의 응집은 스핀 코팅 필름 (10)에서 관찰되었다. 증착법 및 스핀 코팅 방법은 균일 한 두께, 블랭킷 필름의 형성에 매우 적합하면서 또한, 이들은 국소 증착 또는 조작 비 균일 한 두께의 필름으로 자신을 잘 적합하지 않는다. 에프urthermore, 스핀 코팅의 스케일 업 때문에 실행 – 오프에 기판으로부터 인해 높은 물질 폐기물의 어려운이며, 연속 공정 (11)가 아니기 때문에.
현재 만성 위염 성막 기술의 한계 중 일부를 극복하기 위해, 우리는 만성 위염 재료 시스템에 전기 분무 적용을 조사 하였다. 이 과정에서 에어로졸 스프레이 고전압 전기장 (7)을 적용하여 만성 위염 용액을 형성 할 수있다. 이 롤 – 투 – 롤 공정과 호환되는 연속 공정이기 때문에, 소재의 100 % 근처의 사용은 스핀 코팅 위에 이점 인 것이 가능하다. 또, 각각의 만성 위염 에어로졸 방울 단일 양자점의 분리로 인해 대전 물방울이 고 표면적 방울의 빠른 건조 동력학과 결합 쿨롱 반발력에 의해 공간적 자기 분산 것에 더 QD 분산액을 초래할 수 있다고 제안 그 때문에 양자점으로의 이동을 최소화기내 (7), (12). 마지막으로, 국소 증착 GRIN 코팅을 제조하는데 이용 될 수있는 이점이있는 동안 소적의 점도를 증가시킨다. 전기 분무와 만성 위염의 두 QD의 설립 및 GRIN 제작의 탐험은 현재 미래의 문서로 제출 진행되고 있습니다.
이 책에서, 전기 분무의 유연성은 지역화 증착 및 균일 한 두께의 필름을 모두 설명된다. 평면 광 애플리케이션 필름의 적합성을 조사하기 위해, 송신 푸리에 변환 적외선 (FTIR) 분광기, 표면 품질, 두께 및 굴절율 측정이 이용된다 변환.
기판에 스프레이 상대적인 움직임 사문석 증착 균일 한 두께의 필름의 초기의 막 두께 분포가 증가하고있다. Y 방향 이동 거리 (기판에 도착시) 스프레이의 직경을 초과하면, 유속은 기판상의 모든 포인트는 약 동등 해지고, 두께 균일 성이 달성된다. 균일 한 두께 electrosprayed 필름 이론상 막 두께 T의 적절한 증착 변수를 결정하기 위해 이용된다. 이는 표 1의 증착 변수로부터 유도 된 ?…
The authors have nothing to disclose.
Funding for this work was provided by Defense Threat Reduction Agency contracts HDTRA1-10-1-0073: HDTRA1-13-1-0001.
Ethanolamine | Sigma-Aldrich | 411000-100ML | 99.5% purity |
Si wafer | University Wafer | 1708 | Double side polished, undoped |
Syringe | Sigma-Aldrich | 20788 | Hamilton 700 series, 50 microliter volume |
Syringe pump | Chemyx | Nanojet | |
CNC milling machine | MIB instruments | CNC 3020 | |
Power supply | Acopian | P015HP4 | AC-DC power supply, 15 kV, 4 mA |