Rivista
/
Chimica
/
Epitaxiell tillväxt av Perovskite strontiumtitanat på Germanium via Atomic Layer Deposition
JoVE Journal
Chimica
È necessario avere un abbonamento a JoVE per visualizzare questo.  Accedi o inizia la tua prova gratuita.
JoVE Journal Chimica
Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Epitaxiell tillväxt av Perovskite strontiumtitanat på Germanium via Atomic Layer Deposition

DOI:
10.3791/54268-v

•

09:45 min

•

July 26, 2016

•

, , ,
1McKetta Department of Chemical Engineering,The University of Texas at Austin

Capitoli

  • 00:05Titolo
  • 01:20Cleaning the Germanium Substrate
  • 02:46Loading to the Vacuum System and Germanium Deoxidization
  • 04:30Thin Film ALD Growth and Annealing of the Strontium Titanate (STO) Film
  • 07:23Results: RHEED and X-ray Diffraction Analysis
  • 08:41Conclusion

Summary

Traduzione automatica

Traduzione automatica

Detta arbete beskrivs de förfaranden för tillväxt och karakterisering av kristallint SrTiOa 3 direkt på germanium substrat genom atomlager nedfall. Förfarandet illustrerar förmågan hos en allt-kemisk tillväxt metod för att integrera oxider monolitiskt på halvledare för metalloxidhalvledaranordningar.

Tags

Keywords: Epitaxial GrowthPerovskiteStrontium TitanateGermaniumAtomic Layer DepositionMicroelectronicsDielectricCrystalline OxidesInterface StatesManufacturingPrecursorsMolecular Beam EpitaxySubstrate CleaningUV Ozone CleaningVacuum System

Article

Embed

AGGIUNGI ALLA PLAYLIST

Usage Statistics

Video correlati

check_url/it/54268?article_type=v

Beredning av hydrofoba metal-organic frame via Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition av perfluoralkaner för borttagning av ammoniak
check_url/it/54268?article_type=v

Atomically definierade mallar för epitaxiell tillväxt av Complex Oxide Thin Films
check_url/it/54268?article_type=v

Syntes och reaktionskemi av nanostorlek Mono Titanate
check_url/it/54268?article_type=v

Skikt för skikt syntes och överföring av fristående Conjugated mikroporös polymer Nanomembranes
check_url/it/54268?article_type=v

Förbättrad hetero Kvalitet i Cu<sub> 2</sub> O-baserade solceller genom optimering av Atmosfärstryck Spatial Atomic skikt avsatt<br /> Zn<sub> 1-x</sub> Mg<sub> x</sub> O
check_url/it/54268?article_type=v

Framställning av Makroporösa epitaxiella kvarts filmer Silicon av Chemical Solution Deposition
check_url/it/54268?article_type=v

Inverkan av Hybrid perovskit tillverkningsmetoder på filmbildning, elektronstruktur och solceller Prestanda
check_url/it/54268?article_type=v

Reaktiva förångningsdeposition av konjugerad Polymer filmer på godtyckliga substrat
check_url/it/54268?article_type=v

Nedfall av porösa absorbenter på tyg stöder
check_url/it/54268?article_type=v

Solvothermal syntes av MIL-96 och UiO-66-NH2 på atomlager deponeras metalloxid beläggningar på Fiber mattor

Read Article