Rivista
/
Chimica
/
Epitaksial dyrkning af Perovskite strontiumtitanat på Germanium via Atomic Layer Deposition
JoVE Journal
Chimica
È necessario avere un abbonamento a JoVE per visualizzare questo.  Accedi o inizia la tua prova gratuita.
JoVE Journal Chimica
Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition

Epitaksial dyrkning af Perovskite strontiumtitanat på Germanium via Atomic Layer Deposition

DOI:
10.3791/54268-v

•

09:45 min

•

July 26, 2016

•

, , ,
1McKetta Department of Chemical Engineering,The University of Texas at Austin

Capitoli

  • 00:05Titolo
  • 01:20Cleaning the Germanium Substrate
  • 02:46Loading to the Vacuum System and Germanium Deoxidization
  • 04:30Thin Film ALD Growth and Annealing of the Strontium Titanate (STO) Film
  • 07:23Results: RHEED and X-ray Diffraction Analysis
  • 08:41Conclusion

Summary

Traduzione automatica

Traduzione automatica

Dette arbejde beskriver procedurerne for vækst og karakterisering af krystallinsk SrTiO 3 direkte på germanium substrater af atomare lag deposition. Proceduren illustrerer evne en all-kemisk metode vækst at integrere oxider monolitisk på halvledere til metal-oxid halvleder-enheder.

Tags

Keywords: Epitaxial GrowthPerovskiteStrontium TitanateGermaniumAtomic Layer DepositionMicroelectronicsDielectricCrystalline OxidesInterface StatesManufacturingPrecursorsMolecular Beam EpitaxySubstrate CleaningUV Ozone CleaningVacuum System

Article

Embed

AGGIUNGI ALLA PLAYLIST

Usage Statistics

Video correlati

check_url/it/54268?article_type=v

Udarbejdelse af Hydrofobe Metal-Organic Frameworks via Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition af perfluoralkaner til fjernelse af ammoniak
check_url/it/54268?article_type=v

Atomically skabeloner til epitaksial vækst af komplekse Oxide Thin Films
check_url/it/54268?article_type=v

Syntese og Reaktion kemi nanostørrelse Mononatrium titanat
check_url/it/54268?article_type=v

Layer-by-lags Syntese og overførsel af Fritstående Konjugerede Mikroporøse Polymer Nanomembranes
check_url/it/54268?article_type=v

Forbedret heterojunction Kvalitet i Cu<sub> 2</sub> O-baserede solceller gennem optimering af Atmosfærisk tryk Spatial Atomic Layer Deponeret<br /> Zn<sub> 1-x</sub> Mg<sub> x</sub> O
check_url/it/54268?article_type=v

Udarbejdelse af Makroporøse Epitaksial Quartz Film på silicium af kemisk opløsning Deposition
check_url/it/54268?article_type=v

Indflydelse af Hybrid perovskit Fabrication Metoder på film Formation, Elektronisk Struktur og Solar Cell ydeevne
check_url/it/54268?article_type=v

Reaktiv dampudfældning konjugeret Polymer film på vilkårlige substrater
check_url/it/54268?article_type=v

Deposition af porøse Sorbents på stof understøtter
check_url/it/54268?article_type=v

Solvothermal syntese af MIL-96 og UiO-66-NH2 på atomare lag deponeret metaloxid belægninger på Fiber måtter

Read Article