وترد الإجراءات المختلفة لإعداد قوالب محددة بالذرة للنمو الفوقي من الأفلام أكسيد معقدة رقيقة. وأجريت العلاجات الكيماوية من احد البلورية SrTiO 3 (001) وDyScO 3 (110) ركائز للحصول السلس بالذرة، الأسطح إنهاء واحدة. CA 2 ملحوظة 3 O 10- استخدمت nanosheets لإنشاء قوالب محددة بالذرة على ركائز التعسفية.