We hebben een self-contained vloeibare cel die imaging doorlaat vloeistoffen met een transmissie-elektronenmicroscoop. Dynamische processen van nanodeeltjes in vloeistoffen kan worden onthuld in real-time met sub-nanometer resolutie.
De recente ontwikkeling in situ transmissie elektronenmicroscopie, die beeldvorming maakt het mogelijk door middel van vloeistoffen met een hoge ruimtelijke resolutie, heeft aangetrokken aanzienlijke belangen in de onderzoeksdomeinen van de materiaalkunde, natuurkunde, scheikunde en biologie. De cruciale ontsluitende technologie is een vloeibare cel. Wij fabriceren vloeistof cellen met dunne kijkvensters door een sequentiële microfabricageproces, zoals siliciumnitride membraan depositie, fotolithografische patroonvorming, etsen wafer, cel bonding, etc. Een vloeibare cel met de afmetingen van een normale TEM rooster past in elke standaard TEM monsterhouder . Ongeveer 100 nanoliter reactieoplossing wordt geladen in de reservoirs en ongeveer 30 picoliter vloeistof getrokken in de kijkvensters door capillaire werking. Vervolgens wordt de cel afgedicht en geladen in een microscoop voor in situ imaging. In de TEM de elektronenbundel doorloopt de dunne vloeistoflaag tussen twee siliciumnitride membranen. Dynamische proccessen van nanodeeltjes in vloeistoffen, zoals nucleatie en groei van nanokristallen, diffusie en assemblage van nanodeeltjes, enz., zijn afgebeeld in real-time met sub-nanometer resolutie. We hebben ook deze methode toegepast op andere onderzoeksgebieden, bijvoorbeeld beeldvorming eiwitten in het water. Liquid cel TEM is klaar om een belangrijke rol te spelen in het onthullen van dynamische processen van materialen in hun werkomgeving. Het kan ook brengen hoge impact in de studie van biologische processen in hun eigen omgeving.
De studie van chemische reacties in vloeistoffen in real-time en imaging biologische materialen in hun eigen omgeving zijn geweest van belangrijke deelnemingen over de onderzoeksgebieden 1-5. Door de hoge ruimtelijke resolutie van transmissie-elektronenmicroscopie (TEM), beeldvorming door vloeistoffen met TEM trekt veel aandacht 4,5. Er is echter een grote uitdaging voor beeld vloeistofmonsters met TEM, aangezien de conventionele microscoop wordt gebruikt in een hoog vacuüm omgeving. Bovendien vloeistofmonsters moet dun genoeg om de elektronenbundel door te gaan. Williamson et al.. 6 gemeld dat beeldvorming van elektrochemische depositie van Cu kan worden bereikt met 5 nm resolutie met behulp van een elektrochemische cel vloeistof gebruikt in een TEM. De Jonge et al.. Kon een beeld biologische monsters door serveral micrometer dik water met een scanning (S) TEM. Het lage contrast van de biologische monsters nietgesteld als een probleem, omdat goud nanodeeltjes werden gebruikt als merkers voor imaging. De dikke vloeibare monster was geen probleem, omdat STEM beeldvorming modus werd gebruikt en nanometer resolutie werd bereikt. Wij hebben recent een zelfstandige vloeibare cel met real time TEM beeldvorming van colloïdale nanodeeltjes kunnen in vloeistoffen met subnanometer resolutie 5,7. Deze nieuw ontwikkelde vloeistof cellen die verbeterde resolutie en snellere TEM imaging (30 frames per seconde dat niet is bereikt door hoge resolutie beeldvorming STEM), maakte het mogelijk om colloïdale nanodeeltjes dynamiek bestuderen vloeistoffen bieden. De vloeistof cellen past in een standaard TEM houder en kan worden gebruikt als gewone TEM monsters. Een kleine hoeveelheid vloeistof (ongeveer 30 picoliter) kan worden onderzocht in situ onder een verlengde chemische reactie. Verschillende beeldvormende en analytische (dat wil zeggen, energie dispersieve röntgenspectroscopie) technieken worden toegepast. Aangezien de totale dikte van het kijkvenster (waaronder membranenen de vloeistoflaag) kan worden geregeld tot 100 nm of minder heeft directe beeldvorming van biologische monsters (bijvoorbeeld eiwitten) in vloeibaar water zonder gouden nanodeeltjes markers ook bereikt 8.
In de afgelopen twee decennia zijn er belangrijke resultaten op de syntheses en toepassingen van colloïdale nanokristallen 9-11. Echter, het begrip van hoe nanodeeltjes kiemen, groeien en met elkaar interageren in vloeistoffen is grotendeels empirisch en meestal gebaseerd op ex situ analyses 11-13. Onze ontwikkeling van vloeibare cel TEM biedt een uniek platform om de dynamische processen van nanodeeltjes in vloeistoffen studeren in situ 5,7,14,15.
Wij fabriceren een zelfstandige vloeibare cel met ultra dunne silicium wafers (100 pm) door een opeenvolgend microfabricageproces. Het omvat depositie van siliciumnitride membraan, fotolithografische patroonvorming, wafer etsen, depositie spacer en celbonding, enz. ongeveer 50 nanoliter van de reactieoplossing aangebracht in een reservoir, dat in de cel door capillaire werking. We vullen de andere reservoir met nog eens 50 nanoliter van de vloeistof. Vervolgens wordt de cel afgedicht en geladen in de microscoop in situ imaging. In de microscoop, de vloeistof tussen twee siliciumnitride membranen (totaal ongeveer 30 picoliter) kan worden onderzocht. Wanneer de elektronenbundel passeert de dunne vloeistoflaag kunnen dynamische van nanodeeltjes in vloeistoffen worden in real-time. Nucleatie en groei van nanodeeltjes kan worden geïnduceerd door de elektronenbundel in sommige gevallen 5,7 of reacties kunnen worden geactiveerd door een externe warmtebron 14,16. Wanneer de elektronenbundel schade een zorg is, moet laag elektronenbundelstroom (dosis) worden gebruikt.
Omdat vloeibare cellen worden vervaardigd uit silicium microfabricage processen en in grote partijen, variaties in membraan of vloeibaredikte tussen individuele vloeistof cellen smal l6 zijn. Elke onderzoeker die heeft fundamentele microfabricage opleiding met succes kan maken vloeistof cellen. De liquid handling techniek en in situ TEM handeling kan ook worden beheerst na de training. Opgemerkt wordt dat naast het gebruik van siliciumnitride membranen als kijkvensters andere materialen zoals silicium dioxide, silicium of koolstof (inclusief grafeen) kan worden gebruikt als het membraan venster en 17-19. Aangezien de vloeibare cellen met kleine kijkvensters, dwz 1 x 50 urn, geen bolling van de membranen waargenomen. En de vloeibare cel ook robuust te bedienen, onder namelijk 1% vloeibare cellen ramen gebroken tijdens de experimenten. Bovendien kan de dikte van de vloeistoflaag ook flexibel worden afgestemd door de dikte van de afgezette indium spacer. Tijdens de voorbehandeling, kan een gesloten vloeistof-cel vloeistoffen voor meerdere dagen met geen lekkage. De kleine hoeveelheid vloeistofworden onderzocht gedurende enkele uren onder de elektronenbundel, die de studie van een uitgebreide chemische reactie in real time mogelijk maakt.
Tot dusver hebben we gevisualiseerd vele unieke dynamische processen van nanodeeltjes in vloeistoffen, bijvoorbeeld, groei en coalescentie van Pt nanodeeltjes 5,15, verspreiding van nanodeeltjes in dunne vloeistoffen 20,21, groei fluctuatie van Bi nanodeeltjes 14 en groei van Pt 3 fe nanorods van nanodeeltjes bouwstenen 7, etc. Daarnaast hebben we ook deze methode toegepast op andere gebieden, bijvoorbeeld imaging eiwitten in vloeibaar water met 2,7 nm resolutie 8. Samengevat is onze vloeibare cel TEM techniek bewezen een zeer waardevolle ontwikkeling voor de studie van een breed scala aan fundamentele kwesties in de materiaalkunde, natuurkunde, scheikunde en biologie. Wij geloven dat er nog steeds grote ruimte voor toekomstige technische ontwikkelingen en toepassingen van de vloeistof TEM en het zal zeker een hoge impact op een breed spectrum van wetenschappelijk onderzoek.
Alle fabricageprocessen zijn gedaan in de clean room, waar halfgeleiderinrichtingen gemaakt.
Voor de afzetting van indium, O 2 plasma reiniging van de chips nodig is om het organische residu op het oppervlak te elimineren. Aldus kan een hoge kwaliteit worden bereikt indium spacer, die de hechting en bovenste chips en de opbrengst aan vloeistof lekvrij cellen verbeteren.
De siliciumnitride kijkvensters met ultradunne membraan van ongeveer 13 nm dik is e…
The authors have nothing to disclose.
Zheng dankt prof. dr. A. Paul Alivisatos en Dr Ulrich Dahmen voor nuttige discussies tijdens de vroege ontwikkeling van EM vloeistof cellen. Ze is dankbaar voor de steun van DOE Office of Science Early Career Research Program.
Reagents | |||
Platinum(II) acetylacetonate | Aldrich | 523038 | |
Iron(II) acetylacetonate | Aldrich | 413402 | |
pentadecane | Aldrich | P3406 | |
oleylamine | Aldrich | O7805 | |
oleic acid | Sigma | O4137 | |
Equipment | |||
TEM | JEOL | JEOL 3010 | |
Monochromated TEM | FEI | F20 UT Tecnai |