Fabrication, Verdichtung, und Replica Molding von 3D-Carbon Nanotube Mikrostrukturen

Die Einführung neuer Materialien und Prozesse zu Mikrofabrikation hat, zum großen Teil, konnten viele wichtige Fortschritte in der Mikrosystemtechnik, Lab-on-a-Chip-Geräten und deren Anwendungen. Insbesondere wurden Möglichkeiten für eine kostengünstige Herstellung von Polymer-Mikrostrukturen mit dem Aufkommen der weichen Lithographie und andere Mikroformen Techniken ^{1, 2} verwandelt, und dies führte eine Revolution in Anwendungen der Mikrosystemtechnik zur biomedizinischen Technik und Biologie. Dennoch bleibt es schwierig, Mikrostrukturen mit genau definierten nanoskaligen Oberflächenstrukturen herzustellen und zu beliebigen 3D-Formen auf der Mikro-Maßstab herzustellen. Robustheit der Meister Formen und Wartung der Form ist besonders wichtig, um High-Fidelity-Replikation komplexer Strukturen und Wahrung ihrer nanoskaligen Oberflächenstruktur zu erreichen. Die Kombination von hierarchischen Strukturen und heterogene Formen, ist eine große Herausforderung, bestehende Mikrofertigungsverfahren dass LARgely auf Top-down-Ätzung mit festen Maske Vorlagen zurückgreifen. Auf der anderen Seite kann der Bottom-up-Synthese von Nanostrukturen wie Nanoröhren und Nanodrähte neue Funktionen zur Mikrofabrikation bieten, insbesondere durch die Nutzung der kollektiven Selbstorganisation von Nanostrukturen und lokale Kontrolle über ihr Wachstum Verhalten in Bezug auf mikrofabrizierten Muster .

Unser Ziel ist es vertikal ausgerichtete Kohlenstoff-Nanoröhren (CNTs), die wir als CNT "Wälder", als eine neue Mikrofabrikation Material einzuführen. Wir präsentieren Details einer Reihe von verwandten Methoden kürzlich von unserer Arbeitsgruppe entwickelt: Herstellung von CNT Wald Mikrostrukturen durch thermische CVD aus lithographisch strukturiert Katalysator dünnen Schichten; selbstgesteuerten elastocapillary Verdichtung von CNT Mikrostrukturen; und Replik Formen von Polymer-Mikrostrukturen mit CNT Composite Masterformen . Insbesondere zeigt unsere Arbeit, dass selbst gesteuertes kapillaren Verdichtung ("Kapillare bilden"), die Perfo istrmed durch Kondensation eines Lösungsmittels auf das Substrat mit CNT Mikrostrukturen, erhöht die Packungsdichte von CNTs. Dieses Verfahren ermöglicht die Transformation von vertikal gerichteten CNT Mikrostrukturen in geraden, schrägen und verdrehten Formen, die robuste mechanische Eigenschaften über denen der typische Polymere Mikrofabrikation haben. Dies wiederum ermöglicht die Bildung von Nanocomposit CNT Masterform mit Kapillar-angetriebenen Infiltration von Polymeren. Die Replik Strukturen weisen die anisotropen nanoskaligen Textur der ausgerichteten CNTs, und Wände mit Submikrometer-Dicke und Seitenverhältnissen von mehr als 50:1 haben. Integration von CNT in der Fertigung von Mikrostrukturen bietet weitere Gelegenheit, um die elektrischen und thermischen Eigenschaften von CNTs, und vielfältige Funktionen für die chemische und biochemische Funktionalisierung ³ zu nutzen.