1Mechatronics Research Lab, Department of Mechanical Engineering,Massachusetts Institute of Technology, 2Mechatronics Group, Department of Mechanical Engineering,Ilmenau University of Technology, 3Production and Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology,Ilmenau University of Technology, 4Nanoscale Systems Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology,Ilmenau University of Technology, 5nano analytik GmbH
Summary
Nano ölçekli çözünürlüğe sahip büyük ölçekli numune incelemesi, özellikle nanofabrikasyon yarı iletken gofretler için geniş bir uygulama alanına sahiptir. Atomik kuvvet mikroskopları bu amaç için harika bir araç olabilir, ancak görüntüleme hızları ile sınırlıdır. Bu çalışma, yüksek verimli ve büyük ölçekli denetimler sağlamak için AFM’lerde paralel aktif konsol dizilerini kullanır.
