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Une moissonneuse d’énergie de Vibration piézoélectrique à base de polymères avec une Structure de Meshed-Core 3D
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A Polymer-based Piezoelectric Vibration Energy Harvester with a 3D Meshed-Core Structure
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Une moissonneuse d’énergie de Vibration piézoélectrique à base de polymères avec une Structure de Meshed-Core 3D

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09:51 min

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February 20, 2019

DOI:

10.3791/59067-v

DOI:
10.3791/59067-v

•

09:51 min
February 20, 2019

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1Gunma University, 2JST PRESTO

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Polymer-basedPiezoelectricVibration Energy Harvester3D Meshed-core StructureFlexible Mesh StructureLow Frequency ApplicationsRF Magnetron SputteringChromium FilmPositive PhotoresistTMAH SolutionChromium EtchingAcrylic ResinNegative Photoresist SU-8

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Tsukamoto, T., Umino, Y., Hashikura, K., Shiomi, S., Yamada, K., Suzuki, T. A Polymer-based Piezoelectric Vibration Energy Harvester with a 3D Meshed-Core Structure. J. Vis. Exp. (144), e59067, doi:10.3791/59067 (2019).

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