Summary

Progettazione, fabbricazione, e Sperimentale Caratterizzazione di plasmoniche Emettitori Terahertz fotoconduttive

Published: July 08, 2013
doi:

Summary

Descriviamo i metodi per la progettazione, la fabbricazione e la caratterizzazione sperimentale di emettitori fotoconduttrici plasmonica, che offrono due ordini di grandezza più elevati livelli di potenza terahertz rispetto agli emettitori fotoconduttori convenzionali.

Abstract

In questo articolo video presentiamo una dimostrazione dettagliata di un metodo molto efficiente per la generazione di onde terahertz. La nostra tecnica si basa su fotoconduzione, che è stato una delle tecniche più utilizzate per la generazione di terahertz 1-8. Generazione Terahertz in un emettitore fotoconduttiva si ottiene pompando un fotoconduttore ultraveloce con una illuminazione laser pulsato o heterodyned. La fotocorrente indotta, che segue l'inviluppo del laser di pompa, viene instradato a un antenna irradiante terahertz collegata agli elettrodi di contatto fotoconduttore per generare radiazione terahertz. Anche se l'efficienza quantica di un emettitore fotoconduttore può raggiungere teoricamente il 100%, i trasporti relativamente lunghi lunghezze dei percorsi dei vettori foto generati per gli elettrodi di contatto di fotoconduttori convenzionali hanno gravemente limitato la loro efficienza quantica. Inoltre, l'effetto di schermatura vettore e ripartizione termica limitano rigorosamente la massima uscita potenza di fonti terahertz fotoconduttori convenzionali. Per affrontare i limiti di efficienza quantica di convenzionali emettitori terahertz fotoconduttori, abbiamo sviluppato un nuovo concetto di emettitore fotoconduttiva che incorpora una configurazione plasmonico elettrodo di contatto per offrire alta quantum-efficienza e il funzionamento ultraveloce contemporaneamente. Utilizzando nano-scala elettrodi di contatto plasmonic, riduciamo notevolmente il vettore foto-generated percorso medio di trasporto per fotoconduttori elettrodi di contatto rispetto a fotoconduttori convenzionali 9. Il nostro metodo permette anche di aumentare l'area attiva fotoconduttore senza un notevole incremento del carico capacitivo all'antenna, aumentando la potenza massima radiazione terahertz impedendo l'effetto di schermatura vettore e ripartizione termica alle alte potenze ottico di pompa. Incorporando elettrodi di contatto plasmonic, dimostriamo migliorando l'ottico-terahertz efficienza di conversione di potenza di un convenzionale fotoconduttivo terahertz emettitore di un fattore 50 10.

Introduction

Presentiamo un romanzo emettitore terahertz fotoconduttivo che utilizza una configurazione di elettrodo di contatto plasmonica di migliorare l'efficienza di conversione ottico-terahertz da due ordini di grandezza. La nostra tecnica si rivolge ai più importanti limitazioni convenzionali emettitori terahertz fotoconduttori, vale a dire a bassa potenza di uscita e la scarsa efficienza di potenza, che provengono dal compromesso intrinseco tra elevata efficienza quantica e il funzionamento ultraveloce di fotoconduttori convenzionali.

Una delle novità chiave nella nostra progettazione che hanno portato a questo miglioramento delle prestazioni cavallina è quello di progettare una configurazione di elettrodo di contatto che accumula un gran numero di vettori foto-generati in prossimità degli elettrodi di contatto, tali da poter essere raccolti all'interno di un sub- picosecondo scala cronologica. In altre parole, il compromesso tra funzionamento ultraveloce fotoconduttore ed alta efficienza quantica è mitigato dalla manipolazione spaziale del foto-generivettori TED. Elettrodi di contatto plasmoniche offrono questa capacità unica di (1) consentendo confinamento luce in dispositivi nanometrici aree attive tra gli elettrodi plasmonic (oltre il limite di diffrazione), (2) straordinario valorizzazione luce al contatto metallo e foto-assorbenti interfaccia semiconduttore 10, 11. Un altro attributo importante della nostra soluzione è che alloggia ampie aree attive fotoconduttore senza un notevole aumento del carico parassitario all'antenna radiante terahertz. Utilizzando grandi aree attive fotoconduttore consentono mitigare l'effetto di schermatura vettore e ripartizione termica, che sono i limiti ottimali per la massima potenza di radiazione da emettitori fotoconduttori convenzionali. In questo articolo il video si concentra sulle caratteristiche uniche della nostra soluzione presentata da descrivere la fisica che disciplinano, modellazione numerica e verifica sperimentale. Noi sperimentalmente Dimostriamo 50 volte superiori poteri terahertz da un phot plasmonicaemettitore oconductive in confronto con un emettitore fotoconduttiva simile con elettrodi di contatto non plasmonic.

Protocol

1. Plasmonica Fabrication emettitore Photoconductive Realizzare grate plasmonic. Pulire il wafer semiconduttore immergendolo in acetone (2 min) seguito da isopropanolo (2 min), e risciacquo con acqua deionizzata (10 sec). Essiccare il campione in azoto e riscaldare su una piastra riscaldante a 115 ° C per 90 secondi per rimuovere l'acqua residua. Spin MicroChem 950K PMMA A4 sul campione a 4000 rpm per 45 sec. Pre-bake il resist su una piastra riscaldante a 180 ° C per 3 min….

Representative Results

Per dimostrare le potenzialità di elettrodi plasmonic per terahertz valorizzazione potere, abbiamo inventato due emettitori terahertz: una convenzionale (Figura 1a) e plasmonica (Figura 1b) fotoconduttiva emettitore incorporando elettrodi di contatto plasmonica di ridurre i tempi di trasporto carrier di contattare elettrodi. Entrambi i modelli sono costituiti da un fotoconduttore ultraveloce con 20 micron gap tra anodo e catodo contatti, collegato ad un'antenna papillon lunga 60 mi…

Discussion

In questo articolo video, presentiamo una tecnica di generazione terahertz fotoconduttivo romanzo che utilizza una configurazione di elettrodo di contatto plasmonica di migliorare l'efficienza di conversione ottico-terahertz da due ordini di grandezza. Il significativo aumento della potenza di radiazione terahertz dagli emettitori fotoconduttrici plasmonic presentati è molto utile per il futuro ad alta sensibilità terahertz imaging, la spettroscopia e spettrometria di sistemi utilizzati per l'identificazione c…

Divulgations

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

Gli autori desiderano ringraziare Picometrix per fornire il substrato LT-GaAs e con gratitudine riconoscere il sostegno finanziario da Michigan Spazio di Grant Consortium, DARPA Giovane Faculty Award gestito dal Dott. John Albrecht (contratto # N66001-10-1-4027), NSF CARRIERA Premio gestito dal Dott. Samir El-Ghazaly (contratto # N00014-11-1-0096), ONR Young Investigator Award gestito dal Dott. Paul Maki (contratto # N00014-12-1-0947), e ARO Young Investigator Award gestito da Il dottor Dev Palmer (contratto # W911NF-12-1-0253).

Materials

      Reagent
Polymethyl Methacrylate (PMMA) MicroChem 950K PMMA A4  
Hexamethyldisilazane (HMDS) Shin-Etsu MicroSI MicroPrime HP Primer  
Optical Photoresist Dow Chemical Megaposit SPR 220-3.0  
Photoresist Developer AZ Electronic Materials AZ 300 MIF Developer  
Methyl Iso-Butyl Keytone (MIBK) Avantor Performance Materials 9322-03  
      Equipment
Ti:Sapphire Mode-Locked Laser Coherent MIRA 900D V10 XW OPT 110V  
Pyroelectric Detector Spectrum Detector SPI-A-65 THz  
Electron-Beam Lithography Tool JEOL JBX-6300-FS  
Plasma Stripper Yield Engineering Systems YES-CV200RFS  
Metal Evaporator Denton Vacuum SJ-20  
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Tool GSI GSI PECVD System  
Projection Lithography Stepper GCA AutoStep 200  
Reactive Ion Etcher LAM Research 9400  
Parameter Analyzer Hewlett Packard 4155A  
Optical Chopper Thorlabs MC2000  
Lock-in Amplifier Stanford Research Systems SR830  
Electrooptic Modulator Thorlabs EO-AM-NR-C2  
Motorized Linear Stage Thorlabs NRT100  

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Citer Cet Article
Berry, C., Hashemi, M. R., Unlu, M., Jarrahi, M. Design, Fabrication, and Experimental Characterization of Plasmonic Photoconductive Terahertz Emitters. J. Vis. Exp. (77), e50517, doi:10.3791/50517 (2013).

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