Fabrication of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thermoelectric Thin Films using Radio Frequency Magnetron Sputtering Technique

Nurfarhana Ahmad Musri; Yoganash Putthisigamany; Puvaneswaran Chelvanathan; Norasikin Ahmad Ludin; Nadhrah Md Yatim; Ubaidah Syafiq

doi:10.3791/66248

Journal

Ingénierie

Deposition of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

May 17, 2024

Fabrication de couches minces thermoélectriques Bi₂Te₃ et Sb₂Te₃ à l’aide de la technique de pulvérisation cathodique magnétron par radiofréquence

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Pulvérisation magnétron par radiofréquence de films minces thermoélectriques Bi₂Te₃ et Sb₂Te₃ sur des substrats de verre

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Nurfarhana Ahmad Musri¹, Yoganash Putthisigamany¹, Puvaneswaran Chelvanathan¹, Norasikin Ahmad Ludin¹, Nadhrah Md Yatim², Ubaidah Syafiq¹

¹Solar Energy Research Institute (SERI),Universiti Kebangsaan Malaysia, ²Faculty of Science and Technology,Universiti Sains Islam Malaysia

Summary

Le manuscrit décrit un protocole de pulvérisation magnétron par radiofréquence de films minces thermoélectriques Bi₂Te₃ et Sb₂Te₃ sur des substrats de verre, ce qui représente une méthode de dépôt fiable qui offre un large éventail d’applications avec un potentiel de développement ultérieur.

Deposition of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

Fabrication de couches minces thermoélectriques Bi2Te3 et Sb2Te3 à l’aide de la technique de pulvérisation cathodique magnétron par radiofréquence

Pulvérisation magnétron par radiofréquence de films minces thermoélectriques Bi2Te3 et Sb2Te3 sur des substrats de verre

Summary

Article

Deposition of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

Fabrication de couches minces thermoélectriques Bi₂Te₃ et Sb₂Te₃ à l’aide de la technique de pulvérisation cathodique magnétron par radiofréquence

Pulvérisation magnétron par radiofréquence de films minces thermoélectriques Bi₂Te₃ et Sb₂Te₃ sur des substrats de verre