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Journal
Ingénierie
Deposition of Bi
2
Te
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and Sb
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Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering
Deposition of Bi
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and Sb
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Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering
May 17, 2024
使用射频磁控溅射技术制备Bi
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和Sb
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热电薄膜
00:45 min
•
1,059 Views
玻璃基板上Bi
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和Sb
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3
热电薄膜的射频磁控溅射
03:39 min
•
388 Views
Nurfarhana Ahmad Musri
1
,
Yoganash Putthisigamany
1
,
Puvaneswaran Chelvanathan
1
,
Norasikin Ahmad Ludin
1
,
Nadhrah Md Yatim
2
,
Ubaidah Syafiq
1
1
Solar Energy Research Institute (SERI)
,
Universiti Kebangsaan Malaysia
,
2
Faculty of Science and Technology
,
Universiti Sains Islam Malaysia
Summary
该手稿描述了一种在玻璃基板上对Bi
2
Te
3
和Sb
2
Te
3
热电薄膜进行射频磁控溅射的协议，该协议代表了一种可靠的沉积方法，具有广泛的应用潜力，并具有进一步发展的潜力。
Article
