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리튬 니오바테에 표면 음향 파 장치의 제조
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Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate
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리튬 니오바테에 표면 음향 파 장치의 제조

11,264 Views

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07:55 min

•

June 18, 2020

DOI:

10.3791/61013-v

DOI:
10.3791/61013-v

•

07:55 min
June 18, 2020

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28 Views
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1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices and Instrumentation, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering and Department of Surgery, School of Medicine,University of California San Diego

Summary

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두 가지 제조 기술, 리프트 오프 및 습식 에칭, 압전 기판에 디지털 전극 변환기를 생산에 설명, 리튬 niobate, 널리 표면 음향 파를 생성하는 데 사용되는 나노 스케일 유체에 마이크로에서 광범위한 유틸리티를 찾는. 생산된 전극은 레일리 표면 음향파를 효율적으로 유도하는 것으로 나타났다.

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Cite this Article

Mei, J., Zhang, N., Friend, J. Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate. J. Vis. Exp. (160), e61013, doi:10.3791/61013 (2020).

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