Summary

Radio fréquence Magnetron Sputtering GdBa2Cu3O7δ/ La0,67Sr0,33MnO3 quasi bicouche Films sur substrats monocristallins de SrTiO3 (STO)

Published: April 12, 2019
doi:

Summary

Ici, nous présentons un protocole pour faire croître la LSMO nanoparticules et (Gd) BCO films (001) SrTiO3 (STO) substrats monocristallins par radio fréquence (RF)-bredouillement.

Abstract

Ici, nous démontrons une méthode de revêtement ferromagnétique La0,67Sr0,33MnO3 (LSMO) nanoparticules sur substrats de monocristaux de (001) SrTiO3 (STO) par pulvérisation de magnétron de radiofréquence (RF). LSMO nanoparticules ont été déposés avec des diamètres de 10 à 20 nm à des hauteurs comprises entre 20 et 50 nm. Dans le même temps, (Gd) Ba2Cu3O7δ ((Gd) BCO) films ont été fabriqués à la fois non décorés et LSMO nanoparticules décorées des substrats STO à l’aide de pulvérisation cathodique magnétron de RF. Ce rapport décrit également les propriétés de GdBa2Cu3O7δ/ La0,67Sr0,33MnO3 films bicouche quasi structures (par exemple, phase cristalline, morphologie composition chimique) ; aimantation, magnéto-transport et propriétés supraconductrices de transport ont été également évaluées.

Introduction

La manganite dopé au trou La0,67Sr0,33MnO3 (LSMO) ont des propriétés uniques tels que large bande les lacunes, moitié métalliques ferromagnétisme et emmêler les États électroniques, qui offrent des possibilités extraordinaires pour le potentiel spintronique demandes1,2,3,4. Actuellement, de nombreux chercheurs sont s’efforçant de tirer profit des propriétés uniques de la LSMO pour habiter le mouvement de vortex pour les films de (HTS) supraconducteurs haute température, tels que (RE) Ba2Cu3O7δ films (REBCO, RE = éléments de terres rares)5,6,7,8,9,10,11,12. Nanoscale décoration des surfaces substrat avec des nanoparticules ferromagnétiques fournira des sites bien définis pour induire magnétiques épinglage centres de densité prévue13,14. Toutefois, la capacité de contrôler la densité et la géométrie des nanoparticules sur des surfaces très texturées, comme sur les substrats monocristallins et les substrats métalliques très texturés est très difficile. Le plus souvent, nanoparticules sont synthétisés et enduit sur les surfaces à l’aide de méthodes de décomposition organique métal15et pulsée laser dépôt méthodes16,17. Bien que les méthodes de dépôts impulsion laser peuvent fournir des nanoparticules enduits sur divers substrats, il est difficile de se rendre compte de dépôt de nanoparticules homogène de grande surface. En ce qui concerne les méthodes de décomposition organique métal, ils sont adéquats pour les dépôts de grande surface des nanoparticules. Toutefois, les nanoparticules sont souvent non uniforme et facilement endommagées par des petites contraintes physiques.

Parmi ces techniques, pulvérisation magnétron-RF présente de nombreux avantages. Pulvérisation cathodique a un taux de dépôt élevé, faible coût et l’absence d’émission de gaz toxiques. En outre, il est facile d’étendre à grande échelle zone substrats18,19. Cette méthode fournit la seule étape formation de La0,67Sr0,33MnO3 (LSMO) nanoparticules et les nanoparticules sont faciles à être déposés sur des substrats monocristallins. RF magnetron sputtering peut créer des nanoparticules de grande surface uniformément sur un large éventail de substrats, indépendamment de la texture de la surface et rugosité de la surface20. Le contrôle de particules peut être obtenu par régler temps de pulvérisation. Homogénéité est possible de régler la distance cible-substrat. L’inconvénient de pulvérisation magnétron-RF est son taux de croissance inférieur pour certains oxydes21. Dans cette approche, cible atomes (ou molécules) sont ratés sur la cible par ions d’argon, et puis les nanoparticules sont déposés sur des substrats dans le vapor phase22. Formation de nanoparticules a lieu sur le substrat en une seule étape23. Cette méthode est théoriquement applicable à tous les matériaux y compris couches minces supraconductrices, resistante, semi-conductrice, minces ferromagnétiques etc. toutefois, à ce jour, les rapports sur les protocoles pour avoir déversé ferromagnétique les nanoparticules sont très rares.

Ici, nous démontrons le dépôt de GdBa2Cu3O7δ/La0,67Sr0,33MnO3 quasi bicouche films sur des substrats de monocristaux SrTiO3 (STO) par pulvérisation de magnétron RF méthode. Deux types de matériaux de cible, GdBa2Cu3O7δ et La0,67Sr0,33MnO3 target sont utilisés dans le processus. Substrats monocristallins de SrTiO3 (STO) ont été recouvertes de GdBa2Cu3O7δfilms et GdBa2Cu3O7δ/La0,67Sr 0,33 MnO3 films de quasi bicouche.

Dans ce protocole, GdBa2Cu3O7δ/La0,67Sr0,33MnO3 quasi bicouche films sont déposés avec magnétron RF sputtering sur des substrats STO (001). Le diamètre de la cible est de 60 mm et la distance entre la cible et les substrats est d’environ 10 cm. Les appareils de chauffage sont des ampoules placés à 1 cm au-dessus de substrats. La température maximale est de 850° C dans ce système,. Il y a 5 différents substrats dans ce système. Magnétron RF sputtering GdBa2Cu3O7δ/La0,67Sr0,33MnO3 quasi bicouche films se compose de deux étapes, qui sont la préparation des substrats et le magnétron RF processus de pulvérisation. Une image du système de pulvérisation est montrée dans la Figure S1.

Protocol

1. substrat et préparation de la cible Remarque : Cette section décrit la préparation de la chambre de dépôt par pulvérisation cathodique et substrats monocristal SrTiO3 (STO). Utiliser des substrats de 10 x 10 mm SrTiO3 (STO) monocristaux pendant le processus de pulvérisation cathodique magnétron RF. Successivement nettoyer les substrats dans l’alcool isopropylique et d’eau déionisée 10 min chacun, à la température de la pièce dans l…

Representative Results

L’épaisseur des films (Gd) BCO sur tous les deux nus et LSMO décoré STO substrat était 500nm, qui a été mesurée par un profilomètre de surface. L’épaisseur du film était contrôlée par pulvérisation de temps. Figure 1 a b montre l’image AFM de LSMO nanoparticule (pulvérisation de temps de 10 s) sur des substrats de STO de monocristaux de 1,0 x 1,0 cm de prouver que les nanoparticules LSMO cultivées sur des substrats STO un…

Discussion

Ici, nous avons démontré que cette méthode peut être utilisée pour préparer des nanoparticules ferromagnétiques LSMO d’une distribution uniforme sur SrTiO3 substrats monocristallins (STO). Les films (Gd) BCO peuvent également se déposer sur tous les deux nus et LSMO décoré substrat STO. Avec un ajustement approprié des paramètres déposés, tels que des températures de croissance et de la distance de la cible-substrat, cette méthode devrait être utile pour déposé différents genres de magn?…

Divulgaciones

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

Ce travail a été soutenu par la Fondation nationale des sciences naturelles de Chine (n ° 51502168 ; No.11504227) et la fondation de Municipal des sciences naturelles de Shanghai (No.16ZR1413600). Les auteurs remercient chaleureusement le laboratoire analytique Instrumental Analysis Center de Shanghai Jiao Tong University et Ma-tek pour une assistance technique compétente.

Materials

Sputter Deposition System Shenyang scientific instruments Limited by Share Ltd Bespoke
SrTiO3 Single Crystal Substrate Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd Single-sided epi-polished (001) orientation
La0.67Sr0.33MnO3 sputtering target Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd Bespoke 60 mm diameter
GdBa2Cu3O7δ sputtering target Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd Bespoke 60 mm diameter
Atomic Force Microscope Brüker Dimension Icon
X-ray Diffractometer Brüker D8 Discover
Physical Property Measurement System Quantum Design PPMS 9

Referencias

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Wang, Y., Li, Z., Liu, Y., Li, Y., Liu, L., Xu, D., Luo, X., Gao, T., Zhu, Y., Zhou, L., Xu, J. Radio Frequency Magnetron Sputtering of GdBa2Cu3O7δ/ La0.67Sr0.33MnO3 Quasi-bilayer Films on SrTiO3 (STO) Single-crystal Substrates. J. Vis. Exp. (146), e58069, doi:10.3791/58069 (2019).

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