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무선 주파수 마그네트론 스퍼터링 기법을 이용한 Bi2 Te3 및 Sb2Te3 열전 박막 제작
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Ingenieurwesen
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JoVE Journal Ingenieurwesen
Fabrication of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thermoelectric Thin Films using Radio Frequency Magnetron Sputtering Technique
DOI:

00:45 min

May 17, 2024

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