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Automated Delivery of Microfabricated Targets for Intense Laser Irradiation Experiments

Entrega automatizada de alvos microfabricados para experimentos intensos de irradiação a laser

DOI:
10.3791/61056-v

•

06:40 min

•

January 28, 2021

•

, , , , , ,
1The School of Physics and Astronomy,Tel Aviv University, 2Tel Aviv University Center for Light-Matter Interaction

Kapitel

  • 00:05Introduction
  • 00:46Target Fabrication
  • 03:32Target Alignment
  • 04:32Irradiation Sequence and Automated Target Positioning
  • 05:15Ergebnisse
  • 06:13Conclusion

Summary

Automatische Übersetzung

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Um protocolo é apresentado para irradiação automatizada de folhas de ouro finas com pulsos laser de alta intensidade. O protocolo inclui uma descrição passo a passo do processo de fabricação de alvos de micromaquinamento e um guia detalhado de como os alvos são trazidos para o foco do laser a uma taxa de 0,2 Hz.

Tags

Keywords: Microfabricated TargetsIntense Laser IrradiationAutomated Target DeliveryWafer FabricationSilicon NitridePotassium HydroxideReactive Ion EtchingPhysical Vapor DepositionGold Sputtering

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