Journal
/
Chemie
/
Crescita epitassiale di perovskite titanato di stronzio su Germanio via Atomic Layer Deposition
JoVE Journal
Chemie
Zum Anzeigen dieser Inhalte ist ein JoVE-Abonnement erforderlich.  Melden Sie sich an oder starten Sie Ihre kostenlose Testversion.
JoVE Journal Chemie
Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Crescita epitassiale di perovskite titanato di stronzio su Germanio via Atomic Layer Deposition

DOI:
10.3791/54268-v

•

09:45 min

•

July 26, 2016

•

, , ,
1McKetta Department of Chemical Engineering,The University of Texas at Austin

Kapitel

  • 00:05Titel
  • 01:20Cleaning the Germanium Substrate
  • 02:46Loading to the Vacuum System and Germanium Deoxidization
  • 04:30Thin Film ALD Growth and Annealing of the Strontium Titanate (STO) Film
  • 07:23Results: RHEED and X-ray Diffraction Analysis
  • 08:41Conclusion

Summary

Automatische Übersetzung

Automatische Übersetzung

Dettagli Questo lavoro le procedure per la crescita e caratterizzazione di SrTiO cristallina 3 direttamente su substrati germanio per deposizione strato atomico. La procedura illustra la capacità di un metodo di crescita all-chimico per integrare ossidi monoliticamente su semiconduttori per dispositivi a semiconduttore metallo-ossido.

Tags

Keywords: Epitaxial GrowthPerovskiteStrontium TitanateGermaniumAtomic Layer DepositionMicroelectronicsDielectricCrystalline OxidesInterface StatesManufacturingPrecursorsMolecular Beam EpitaxySubstrate CleaningUV Ozone CleaningVacuum System

Article

Embed

ZUR WIEDERGABELISTE HINZUFÜGEN

Usage Statistics

Verwandte Videos

check_url/de/54268?article_type=v

Preparazione del idrofobi Frameworks Metal-Organic tramite Plasma avanzata Chemical Vapor Deposition del perfluoroalcani per la rimozione di ammoniaca
check_url/de/54268?article_type=v

Modelli atomicamente definiti per epitassiale crescita di ossido Complex Thin Films
check_url/de/54268?article_type=v

Sintesi e Reazione chimica della nanosize monosodico titanato
check_url/de/54268?article_type=v

Sintesi layer-by-layer e di trasferimento delle Freestanding coniugati microporosi Polymer nanomembrane
check_url/de/54268?article_type=v

Qualità Heterojunction migliorata in Cu<sub> 2</sub> O basati su celle solari attraverso l'ottimizzazione della pressione atmosferica spaziale atomica strato depositato<br /> Zn<sub> 1-x</sub> Mg<sub> x</sub> O
check_url/de/54268?article_type=v

Preparazione di macroporosi Epitassiali Films quarzo su silicio da Solution Chemical Deposition
check_url/de/54268?article_type=v

Influenza di ibridi metodi di fabbricazione perovskite sulla formazione cinematografica, struttura elettronica e le prestazioni delle celle solari
check_url/de/54268?article_type=v

Deposizione di vapore reattiva di film polimerici coniugati su substrati arbitrari
check_url/de/54268?article_type=v

Deposizione di porosi assorbenti su supporti di tessuto
check_url/de/54268?article_type=v

Sintesi di Solvothermal di MIL-96 e UiO-66-NH2 su strato atomico depositato rivestimenti in ossido di metallo su stuoie di fibra

Read Article