液体環境におけるパルスUVレーザー照射によるシリコン表面の濡れ性の選択エリア変更

我々は、H _{2 O 2} / H ₂ O溶液（0.01％-0.5％）またはメタノール溶液で満たされたマイクロ流体チャンバ内でサンプルを照射することにより、親水性又は疎水性の状態にするのSi（001）表面を処理されたHF の現場変更でのプロセスについて報告相対的な低パルスフルエンスのパルスUVレーザーを使用して。