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वास्तविक समय डीसी गतिशील Biasing विधि गंभीर रूप Underdamped Fringing क्षेत्र इलेक्ट्रोस्टैटिक MEMS actuators में समय सुधार स्विचिंग के लिए
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Kapitel
- 00:05Titel
- 01:08Fabrication of Electrostatic Fringing-field Actuated (EFFA) MEMS Fixed-fixed Beams
- 08:28Experimental Validation of Dynamic Waveform Biasing
- 10:23Results: Measured Pull-down and Released States of a MEMS Bridge
- 11:16Conclusion
स्वाभाविक कम दबाव फिल्म भिगोना शर्तों और लंबे समय से निपटाने के बार में fringing क्षेत्र इलेक्ट्रोस्टैटिक MEMS actuators परिणामों की मजबूत डिवाइस डिजाइन पारंपरिक कदम biasing का उपयोग कर स्विचन कार्रवाई कर जब. के बीच संक्रमण जब डीसी गतिशील waveforms के साथ समय सुधार स्विचन वास्तविक समय fringing क्षेत्र के निपटाने के समय को कम कर देता actuators MEMS के लिए नीचे से ऊपर और नीचे करने वाली अप राज्यों.
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