המצאה של תחמוצות מורכבות מוקפות מרחבית
Summary
אנו מתארים את השימוש בטכניקות תיל מליטה כדי ליצור התקני תחמוצות מורכבים בקנה מידה מיקרומטר פעם תצהיר לייזר (PLD), photolithography ו. PLD מנוצל לגדול סרטים דקים epitaxial. טכניקות photolithography וחוט מליטה הם הציגו כדי ליצור התקנים מעשיים למטרות מדידה.
Abstract
חומרים מורכבים כגון מוליכים גבוהים TC, multiferroics, וmagnetoresistors ענקי יש תכונות אלקטרוניות והמגנטיות שעולות ממתאמי האלקטרונים החזקים הטבועים הנמצאים בתוכם. חומרים אלה יכולים גם להחזיק הפרדת פאזות אלקטרונית שבו אזורים של התנהגות והתנגדות המגנטית שונה בהרבה יכולים להתקיים בתוך חומר סגסוגת גביש יחיד. על ידי צמצום קנה המידה של חומרים אלה לקשקשי אורך ובמתחת לגודל הגלום בתחומי האלקטרוניקה, יכולות להיחשף התנהגויות חדשות. בגלל זה, והעובדה שפרמטרי סדר ספין תשלום סריג מסלולית כל כרוכות אורכי קורלציה, מרחבית הפחתת חומרים אלה למדידות תחבורה הוא שלב קריטי בהבנת הפיזיקה הבסיסית שמניעה את התנהגויות מורכבות. חומרים אלה גם מציעים פוטנציאל גדול להפוך לדור הבא של מכשירים אלקטרוניים 1-3. לפיכך, הייצור של ננו או ממדים נמוכיםמיקרו מבנים חשוב מאוד כדי להשיג פונקציונליות חדשה. זה כולל תהליכים לשליטה מרובים מצמיחת סרט דקה באיכות גבוהה לאפיון נכס אלקטרוני מדויק. כאן, אנו מציגים פרוטוקולי ייצור של microstructures באיכות גבוהה למכשירי manganite תחמוצת מורכבים. תיאורים מפורטים וציוד הנדרש של צמיחת סרט דק, תמונה ליתוגרפיה, וחוט מליטה מוצגים.
Introduction
הראשון ואחד הצעדים החשובים ביותר לכיוון מכשירים באיכות גבוהה הוא הצמיחה של סרטים דקים תחמוצת epitaxial. מצע גביש יחיד משמש כ" תבנית "להפקיד את חומרי היעד. בין שיטות שונות בתצהיר, פעם תצהיר לייזר (PLD) הוא אחת הדרכים הטובות ביותר כדי לרכוש סרטי 4,5 דקים באיכות טובה. תהליכי הגדילה כרוכים בחימום המצע לכ 800 מעלות צלזיוס בסביבת חמצן ושימוש בפעימות לייזר לרמה של חומר היעד וליצור שטף להיות מופקד על גבי מצע. המערכת הטיפוסית מוצגת באיור 1.
אמנם הוכחו סרטי unpatterned לחשוף פיסיקה חדשה אקזוטי 6, צמצום ממד סרט מספק יותר הזדמנויות כדי לחקור תופעות חדשות וייצור מכשיר. Photolithography יכול לשמש כדי לכווץ את ממד המדגם במטוס עד להסדר של 1 מיקרומטר. הפרוטוקול מפורט של התהליך יהיה photolithographyיידון בהמשך. טכניקה זו היא תואמת עם מצעים בשימוש נרחב ביותר המאפשרים לחקירות של השפעות כליאה על סרטי epitaxial שנערכו במדינות זן שונים.
מאז יש לי תחמוצות מורכבות רבות מאפיינים מעניינים בטמפרטורות ו / או שדות מגנטיים גבוהים נמוכים, חיבור האלקטרוני בין ציוד מדידת המכשיר, והוא מאוד חשוב. יכול להיווצר קשר באיכות גבוהה על ידי מתאדה רפידות מגע Au בגיאומטרית 4 חללית ועם השימוש בונדר תיל כדי ליצור קשרים בין הכריות ומכשיר מדידה. כאשר נעשה בצורה נכונה, קשרים אלה יכולים בקלות לעמוד בסביבות קיצוניות במדידת טווחי טמפרטורה רחבה של 4 K ל 400 K וטווחי שדה מגנטי של עד 9 ט ±
Protocol
Representative Results
Discussion
בניגוד לחומרים מוליכים למחצה אלמנט אחד כגון סי, הייצור של חומרים מורכבים יכול להיות קשה יותר בשל העובדה שהמבנה המורכב ומרובים אלמנטים חייבים כל להילקח בחשבון. השימוש בphotolithography כדי להמציא מכשירי תחמוצת מורכבים הוא עלות ומהירה לאב טיפוס בניגוד לטכניקות כליאה אחרות נ?…
Offenlegungen
The authors have nothing to disclose.
Acknowledgements
מאמץ זה נתמך מלא על ידי משרד האנרגיה האמריקאי, המשרד למדעי יסוד אנרגיה, מדעי חומרים ואגף הנדסה.
Materials
| Reagent/Material | |||
| SrTiO3(001) & LaAlO3(100) substrates | CrysTec GmbH | ||
| Microposit S1813 Photoresist | Shipley | ||
| CD-26 Developer | Shipley | 38490 | |
| GE varnish | Lakeshore | VGE-7031 | |
| Equipment | |||
| Reflected High Energy Electron Diffraction (RHEED) | Staib Instruments | 35 kV TorrRHEED | |
| Mask Aligner | ABM | Model 85-3 (350 W) Lightsource | |
| Resistivity Puck | Quantum Design | P102 | |
| Wire Bonder | Kulicke & Soffa | 04524-0XDA-000-00 |
Referenzen
- Ahn, C. H., Triscone, J. -. M., Mannhart, J. Electric field effect in correlated oxide systems. Nature. 424, 1015-1018 (2003).
- Basov, D. N., Averitt, R. D., Van der Marel, D., Dressel, M., Haule, K. Electrodynamics of correlated electron materials. Reviews of Modern Physics. 83, 471-541 (2011).
- Waser, R., Aono, M. Nanoionics-based resistive switching memories. Nat. Mater. 6, 833-840 (2007).
- Willmott, P. R., Huber, J. R. Pulsed laser vaporization and deposition. Rev. Mod. Phys. 72, 315-328 (2000).
- Eres, H. M. C., G, Recent advances in pulsed-laser deposition of complex oxides. Journal of Physics: Condensed Matter. 20, 264005 (2008).
- Ding, J. F., Jin, K. X., Zhang, Z., Wu, T. Dependence of negative differential resistance on electronic phase separation in unpatterned manganite films. Applied Physics Letters. 100, 62402-62404 (2012).
- Ichimiya, A., I, P. C. . Reflection High Energy Electron Diffraction. , (2004).
- Guo, H., Sun, D., et al. Growth diagram of La0.7Sr0.3MnO3 thin films using pulsed laser deposition. arXiv. , 1210.5989 (2012).
- Ward, T. Z., Gai, Z., Guo, H. W., Yin, L. F., Shen, J. Dynamics of a first-order electronic phase transition in manganites. Physical Review B. 83, 125125 (2011).
- Ward, T. Z., Liang, S., et al. Reemergent Metal-Insulator Transitions in Manganites Exposed with Spatial Confinement. Physical Review Letters. 100, 247204 (2008).
- Ward, T. Z., Zhang, X. G., et al. Time-Resolved Electronic Phase Transitions in Manganites. Physical Review Letters. 102, 87201 (2009).
- Zhai, H. -. Y., Ma, J. X., et al. Giant Discrete Steps in Metal-Insulator Transition in Perovskite Manganite Wires. Physical Review Letters. 97, 167201 (2006).
- Wu, T., Mitchell, J. F. Creation and annihilation of conducting filaments in mesoscopic manganite structures. Physical Review B. 74, 214423 (2006).
- Altissimo, M. E-beam lithography for micro-/nanofabrication. Biomicrofluidics. 4, 26503-26506 (2010).
- Watt, F., Bettiol, A. A., Van Kan, J. A., Teo, E. J., Breese, M. B. H. Ion Beam Lithography and Nanofabrication: A Review. International Journal of Nanoscience. 4, 269-286 (2005).
- Urban, J. J., Yun, W. S., Gu, Q., Park, H. Synthesis of single-crystalline perovskite nanorods composed of barium titanate and strontium titanate. J. Am. Chem. Soc. 124, 1186-1187 (2002).
- Wang, Y., Fan, H. J. The origin of different magnetic properties in nanosized Ca0.82La0.18MnO3: Wires versus particles. Applied Physics Letters. 98, 142502 (2011).
