Deposition of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

Deposition of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

May 17, 2024

무선 주파수 마그네트론 스퍼터링 기법을 이용한 Bi2 Te₃ 및 Sb₂Te₃ 열전 박막 제작

유리 기판에서 Bi₂te₃ 및 sb₂te₃ 열전 박막의 무선 주파수 마그네트론 스퍼터링

Nurfarhana Ahmad Musri¹, Yoganash Putthisigamany¹, Puvaneswaran Chelvanathan¹, Norasikin Ahmad Ludin¹, Nadhrah Md Yatim², Ubaidah Syafiq¹

¹Solar Energy Research Institute (SERI),Universiti Kebangsaan Malaysia, ²Faculty of Science and Technology,Universiti Sains Islam Malaysia

Summary

이 원고는 유리 기판에 Bi₂Te₃ 및 Sb₂Te₃ 열전 박막의 무선 주파수 마그네트론 스퍼터링에 대한 프로토콜을 설명하며, 이는 추가 개발 가능성과 함께 광범위한 응용 분야를 제공하는 신뢰할 수 있는 증착 방법을 나타냅니다.

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