यह प्रोटोकॉल अल्ट्रा उच्च वैक्यूम के तहत सीटू में प्राप्त यू2ओ5 पतली फिल्मों की तैयारी प्रस्तुत करता है । इस प्रक्रिया में क्रमशः परमाणु ऑक्सीजन और परमाणु हाइड्रोजन के साथ UO2 फिल्मों का ऑक्सीकरण और कमी शामिल है ।