We describe the fabrication and characterization of nano-biological systems interfacing nanostructured substrates with immobilized proteins and aptamers. The relevant experimental steps involving lithographic fabrication of nanostructured substrates, bio-functionalization, and surface-enhanced Raman spectroscopy (SERS) characterization, are reported. SERS detection of surface-immobilized proteins, and probing of protein-ligand and aptamer-ligand binding is demonstrated.
제조 및 고정화 생체 분자와 고체 지지체에 금속 나노 구조의 인터페이스 복합 나노 생물 시스템의 특성가보고됩니다. 관련 실험 단계의 전체 시퀀스 전자선 리소그래피, 기판 상에 생체 분자의 고정화를 이용한 나노 기판의 제조를 포함하는, 제 42 및 특성화 이용한 표면 증강 라만 분광 (SERS). 나노 생물 시스템의 세 가지 다른 디자인은 단백질, 포도당 결합 단백질과 도파민 바인딩 DNA 앱 타머를 포함하여 사용된다. 후자의 두 경우에서, 각각의 리간드, D- 글루코스 및 도파민의 결합도 포함된다. 생체 분자의 3 종류가 다른 방법에 의해 기판 상에 나노 구조를 고정화하고, SERS 촬상의 결과가보고된다. SERS의 기능면에서의 단백질 고정화 진동 모드를 검출뿐만 아니라, 단백질 – 리간드를 캡처D 압 타머 – 리간드가 입증되는 바인딩. 결과는 또한 표면 나노 형상, 생체 분자를 고정화 전략 분자 취득한 SERS 스펙트럼에 리간드 결합의 유무 라만 활성의 영향을 도시한다.
고체 나노 구조 생체 고분자의 인터페이스 복합 나노 생물 시스템을 개발하고 특성화하는 기능은 차세대 바이오 센서 및 바이오 작동 기술 1, 2에서 더욱 진보 점점 더 중요 해지고있다. 이것은 적절한 고체 성분 (마이크로 또는 나노 전극, 나노 공학 코팅, 나노 와이어 또는 나노 입자) 2,3,4의 제조 등 연구 분야의 숫자에 걸쳐 다양한 분야의 연구를 포함한다; 원하는 bioconjugates 5,6,7을 만들 수있는 표면에 생체 분자의 고정화; 나노 생물 인터페이스 1을 모니터링. 대부분의 경우, 최적 제조, 바이오 기능화 및 특성화 방법의 선택은 강하게 상호 관련된다. 분명히, 나노 기술의 선택은, 시스템의 고체 성분의 요구에 의해 구동 될 검출 방법에 크게 의존하는 TU에서RN 관련된 생체 고분자의 특성 및 인터페이스를 모니터링 용도에 의해 결정된다.
bioconjugate 시스템, 3, 표면 강화 라만 분광법 (SERS)의 특성을 적용 다양한 기술 중 표면 8,9,10,11에 화학 및 생물 종의 검출을위한 매우 유망한 방법으로 떠오르고있다. SERS는 분자 진동에 해당하는 고유 한 서명의 캡처를 허용 표면 고정화 생체 분자 (그림 1)에 의해 단색광의 비탄성 산란을 사용합니다. 이 기능은 라벨, 화학 복합체 또는 시간 소모적 인 단계를 포함하지 않고 다른 분자에 구별 SERS에게 생체 검출의 가능성이 매우 효율적인 방법을 만든다. SERS의 또 다른 중요한 장점은 감도이다. 귀금속 나노 구조 (SERS 기판)과 상호 작용하는 빛에 의해 국소 표면 플라즈몬의 여기 극적 INT 증가라만 단층에서 단일 분자 8,9,10,11 한도까지, 분자의 아주 작은 양의 검출을 가능하게하여 검체의 산란 ensity. 마지막으로, 대부분의 생체 분자가 안정 수성 솔루션을 필요로한다. 물은 종종 제한된 라만 활성을 갖기 때문에, 수성 시료에서 배경 신호는 9 최소화된다. SERS의 응용 프로그램은 지난 십 년간 10 지수 증가를 전시했다. 그러나, 다량의 SERS 논의 과제는 라만 산란의 향상이 전자기 파들 11,12,13 플라즈몬을 유도 금속 나노 구조의 크기, 형상 및 간격에 따라 크게 달라진다는 것이다. 기판의 형상은 나노 사이즈로 필요 통해 효율적이고 재현 SERS 측정을 달성하기 위해, 제어한다.
그림 1. 사우스 캐롤라이나표면 증강 라만 분광 헴.
11,12,13 SERS 기판을 제조하는 수많은 방법이 이용 대략 상향식 하향식 방법으로 분류 될 수있다. 제 1 타입의 방법은 자기 조립 나노 구조물을 제조에 관한 화학 합성의 다양한 프로세스를 사용한다. 종종 예는 고체 지지체 11,12,13, 열, 스퍼터, 또는 거친 금속 필름 (11, 12)의 전기 화학적 증착, 다양한 화학 합성 방법 (13)에 단 분산 나노 입자의 고정화를 포함 해결. 이러한 기술은 비교적 간단하고 저렴한 경향이 있지만, 이들 중 대부분은 구조물의 위치 제어의 부족, 제한된 샘플 간 재현성 도전된다.
대조적으로, 하향식 리소그래피 기술은 표면에 원하는 패턴을 생성하기 위해 이러한 입자 빔으로서 조작 가능한기구를 채용한다. 가장 자주 사용 하나고체 지지체 (11, 12)에 다른 기판을 설계하는 것도 허용는 10 nm 이하로 내려가요 형상물 나노 리소그래피 방법은, 전자선 묘화 (EBL)는 최상의 제어를 제공한다. EBL에서 전자의 빔은 노출 된 지역에서 화학적 변화를 일으키는 전자 민감한 소재 (레지스트)의 표면에서 직경 검사에서 수 나노 미터의 자리까지 집중했다. 포지티브 톤 레지스트를 들어 같은 적당한 용매 (현상액)에서 용해성이 향상 선도 폴리 메틸 메타 크릴 레이트 (PMMA), 레지스트를 구성하는 고분자 쇄의 절단에 전자 빔 노출의 결과로서. 전자빔 리소그래피 공정은 기판 상에 레지스트의 균일 한 층의 스핀 – 코팅을 포함한다; 전자빔 진공 챔버 내의 타겟 레지스트 재료의 노출; 샘플의 개발은 가용성 영역을 제거합니다.
이러한 융합 실리카와 같은 금속 나노 구조 아래 유전체 지원은 B가표시 EEN 크게 인해 실리콘 (14, 15)와 같은 다른 재료에 비해 플라즈몬 파의 현지화 SERS의 강도를 증가시킵니다. 그러나 EBL 패터닝은 유전체 기판 상에, 특히 나노 스케일에서, 노광시 빌드 업 충전으로 인해 상당한 어려움을 수반한다. 이전에, 우리는 이러한 어려움이 레지스트 위의 도전성 고분자 층을 배치함으로써 극복 될 수 있다는 16,17 보여준다.도 2를 융합에 금속 나노 구조물을 생성하기 위해 금속 증착 및 리프트 오프이어서 EBL 노광 및 현상을 이용하여 전체 제조 공정의 개략도를 도시 실리카 지원합니다. 이 그림의 더 큰 버전을 보려면 여기를 클릭하십시오.
전자의 2. 계획도. 빔 리소그래피, 금속 증착 및 리프트 오프 공정 유전체 기판 16-19에 금속 나노 구조를 제조하는데 사용될 절차 lectron 본 논문에서는 EBL, 기판의 바이오 기능화하여 SERS 기판의 제조를 포함하는 프로세스 단계들의 전체 시퀀스를 제시하고, 라만 스펙트럼의 컬렉션입니다. 우리의 최근 작품 (18, 19)에서 탐구 세 가지 디자인 (참조 : 그림 3과 4, 표 1) 해결됩니다. 한 설계에있어서, 재조합 단백질이 융합 된 실리카 (FS) 지지체 (18) 상에 바이오 기능화 금 나노 구조물에 고정되고, 상기 단백질의 SERS 검출이 설명된다. 이 디자인에서, 재조합 포도당 – 결합 리간드 (D 글루코오스)와 21,26,27없이 단백질은 니켈 코팅에 FS의 Ag 나노 구조물 사이의 공간들 히스티딘 태그에 의해 고정화하고, 단백질에 결합 글루코오스 검출된다. 설계 3에서, 티올 화 도파민 결합 DN을앱 타머 19, 23은 FS에 금 나노 구조에 고정하고, 고정 압 타머에 의해 도파민의 결합이 설명된다. 기판 라만 스펙트럼 취득 준비, 다른 생체 분자 고정화 전략의 대표적인에서 모든 관련 실험 단계 인 클루 시브,이 예는 SERS의 발전에 SERS에 의해 나노 생물 인터페이스를 심문 탐사 연구에서, 응용 프로그램의 광범위한 다양한 유용 인식 방법으로 결합 된 단백질 또는 압 타머 – 리간드를 사용하는 작은 분자의 바이오 센서. 이 그림의 더 큰 버전을 보려면 여기를 클릭하십시오.
immobiliza 방법, 다른 생체 분자를 사용하여 세 가지 대표적인 디자인 3. 체계도기, 및 기판 재료 : (A) 자기 조립 단분자막 DI 물 11 mercaptodecanoic 산 (SAM) (MUA)로 관능 귀금속 나노 도트 상에 고정화 된 단백질; (B) 귀금속 나노 도트 사이의 기판 표면 상에 고정화 D 글루코오스와 복합 히스티딘 태그 글루코오스 결합 단백질 (GBP); (C) 귀금속 나노 도트에 고정 도파민 (DBA) 완료 도파민 결합 앱 타머를 티올은 종료. 표 1에서 자세한 내용을 참조하십시오. 패널 (B)에 도시 디자인 2에 해당하는 리간드없이 샘플도 비교를 위해 제조 하였다. 이 그림의 더 큰 버전을 보려면 여기를 클릭하십시오.
그림 4.세 설계에 사용 된 생체 분자 (A) 단백질; (B) 당 결합 단백질 D 및 글루코스; (C) DNA 앱 타머 및 도파민 바인딩 도파민. 의 단백질 삼차 구조 (a)와 (b)는 각각, 및 LINUXAMD64에 대한 VMD으로 그려 단백질 데이터 뱅크, PDB ID 1BDD 20 2HPH 21, 버전 1.9.1 (22)에서 가져옵니다. (c)에 앱타 머가 이차 구조 ValFold 24은 소프트웨어를 사용하여 시퀀스 (23)으로부터 예측 및 PseudoViewer 3.0 25 그려진다. G, A, T, C는 구아닌, 아데닌, 티민, 시토신 뉴클레오티드에 해당하는 문자, 각각. 이 그림의 더 큰 버전을 보려면 여기를 클릭하십시오.
디자인 1 </TD> | 디자인 2 | 디자인 3 | |
생체 고분자 | 단백질 | 포도당 결합 단백질 (GBP) | 도파민 결합 앱 타머 (DBA) |
바인더 | 11 Mercaptoundecanoic 산 (MUA) 자기 조립 단분자막 (SAM) | 히스티딘 태그 | 티올 링커 |
리간드 | 없음 | D 글루코오스 | 도파민 |
해결 | 탈 (DI) 물 | 인산 칼륨 완충액 | 트리스 (히드 록시 메틸) 아미노 메탄 (TRIS) 및 에틸렌 디아민 테트라 아세트산 (EDTA) 버퍼; 인산염 완충 식염수 (PBS) |
기판 | FS에 금 구조 | 니켈 코팅 FS에의 Ag 구조 | FS에 금 구조 |
무늬 AR개 | × 10 μm의 4 μm의 | × 8 μm의 4 μm의 | × 10 μm의 4 μm의 |
무늬 | 금 점, 50 nm의 피치 | AG 점, 40 nm의 피치 | 금 육각형, 200 nm의 피치 |
AG는 육각형, 200 nm의 피치 | 금 구조화 패드 | ||
AG 구조화 패드 | |||
EBL 노출 선량 | 점 : | 점 : 105 μC / ㎠ | 육각형 : 180 μC / ㎠ |
배열 I 120 μC / ㎠ | 육각형 : 170 μC / ㎠ | ||
배열 II 96 μC / ㎠ | |||
배열 III (72)μC / ㎠ | |||
레이저 여기 파장 | 532 nm의 | 532 nm의 | 780 nm의 |
표 1. 나노 생물 시스템의 세 가지 디자인.
SERS는 많은 독특한 장점을 제공하는 바이오 감지 매우 강력한 기술로 인정 받고있다. 매우 높은 감도가 피검 9,10,11,35 극소량 검출 가능하게하는 반면, 분자 진동과 관계 선택적 SERS 스펙트럼에서 특정 분석 물의 "지문"을 식별 허용한다. 또한, SERS는 물에 상대적으로 둔감 비파괴 기술이다, 따라서 그것은 아주 잘 자연 수성 환경 9 생물학적 물질을 프로빙에 적합합니다. 제시된 결과는 이러한 이점뿐만 아니라, 상기 생체 검출의 매우 유연한 라벨없는 기술로서 강한 SERS의 잠재력을 보여 강조한다. 다른 기판 고정화 생체 분자의 단일 층을 사용하는 세 가지 설계에서, 라만 모드는 자신 특정 분석에 기인 할 수있는 검색되었습니다. 이들 생체 분자의 검출 OR 각각의 리간드, SERS 기판에 대한 지원과 같은 용융 실리카의 평면 표면을 사용하는 입증되었다, 전자의 표면에 생체 물질의 인터페이스 바이오 전자 아키텍처 신흥와 관련하여 다수의 애플리케이션을 약속, 현재의 전자 및 마이크로 유체 설정과 호환 디자인한다 및 전기 화학 장치 2,3. 중요하게는, 둘, 셋의 설계에서 SERS 검출 소자로서 인식, 포도당, 도파민, 각각 표면 고정화 단백질과 앱 타머를 이용한 단층의 작은 분자의 특이 적 결합에 대해 입증되었다.
그러나, 몇 가지 측면은 "온 – 칩"설정에서 효율적인 SERS 바이오 탐지를 달성하기 위해 처리되어야합니다. 첫째, 대부분의 생체 분자에 대한 일반적인 공지 도전 건식 ENVI 같은 비 자연 조건에 노출 된 경우 특히 열화 성향이며했었다는 강렬한 레이저 빛. 프로토콜 동안, 우리는 항상 라만 스펙트럼 취득에 샘플의 제조에서, 전체 실험 기간 동안 적절한 용액에 침지 바이오 샘플을 유지하는 작용 화의 중요성을 강조 하였다. 후자의 경우, 사용자 정의 방수 챔버는 레이저 노출 동안 액체의 증발을 피하기 위해 (도 7)를 설계하고있다. 시료의 손상을 방지하기 위해 프로토콜의 단계 5.3에 기재된 바와 같이 노광 및 레이저 강도의 지속 시간은 제한되어야한다.
SERS 검출의 결과가 채용 기판과 금속 나노 구조물, 특히 간 기능 분리의 형상에 민감 발견된다. 그것은도 8 및도 9에서, 다음과 같이 설계 한 샘플의 SERS 강도는 용융 실리카에의 Au 나노 도트 사이의 갭 폭에 크게 의존한다. 금 나노 도트 중 세 가지 배열 내가 테스트N이 디자인 (도 8), 최고 라만 강도의 Au 기능 사이 좁은 간극을 가지며, 따라서보다 효율적 전자계 향상을 제공 어레이 I, 달성된다. 그림 9에서 보듯, 10 ~ 20 nm 이하의 수준에서 간 기능 분리의 제어가 필요합니다. SERS 기판을 제조하는 EBL을 채택, 여기에 설명 된대로, 간 기능 격차의 폭을 제어하기 위해 특별히 효율적인 해상도를 제공합니다. 포지티브 톤 EBL으로 PMMA와 같은 레지스트, PMMA 마스크의 구멍의 크기는 단순히 노출 선량을 변경함으로써 변화 될 수있다. 리프트 오프를 제조 한 후이 금속 도트의 크기가 다른 결과, 18 도스 EBL 적절한 노출을 선택함으로써 원하는대로 도트 사이의 갭의 폭은 조정될 수있다.
다른 문제는 특정 바이오 감지 응용 프로그램에 대한 SERS 기판 형상의 최적화입니다. 개선 효과 나 비록간 기능 갭의 감소에 ncreases은 생물학적 분자의 크기가 상대적으로 큰 간격이 될 수 있는지에 대한 제한이 좁은 부과한다. 이 아닌 도트 자체 (도 3b 참조), 고정화 방법은 단백질이 효율적에만 귀금속 도트 사이의 표면에 결합되도록 설계 인 2의 결과로부터 분명하다. 이 그림 10에서 다음과 같이 구조화의 Ag 패드 SERS 스펙트럼 분석에서 어떤 밴드를 표시하지 않습니다. 패드는 매우 얇은 섬간 갭과 나노 결정 구조를 나타내고 있지만 이러한 갭은 단백질 분자를 수용하기에는 너무 좁다 (도 6F 참조). 또 다른 차원의 복잡도는 단백질 – 리간드 결합이 검출되어야 할 때 부가된다. 도 10에서, SERS CH 밴드 가설 GBP 입체 구조의 변화에 의해 설명 될 수없는 하나의 리간드에 결합 된 리간드보다 GBP에서 스펙트럼에서 더 뚜렷, D-7, 27 글루코스 둘의 결합 증가 라만 활성이보다 경질 인 구조의 결과에 따라. 하나는 두 나노 기질, 리간드가없는 단백질에서 CH 대역 리간드 – 결합 단백질로부터 단백질 및 글루코스 CH 밴드 모두 나노 육각형 더욱 현저 반면, 나노 도트 기판 수득 SERS 스펙트럼에서 강한 비교하면 기판. 두 요소가 이러한 차이가 발생할 것으로 예상된다),은 (Ag 사이의 공간의 가용성은 GBP 니켈 (Ni)에 결합 수있는 곳 갖추고 있으며 "핫스팟"의 라만 산란의 전자기 향상에 리간드 결합 리간드 무료 단백질의 감수성 이러한 기능 사이. 한편, 나노 도트 패턴은 단백질의 Ag 나노 도트를 기판 상에 글루코스가없는 GBP 관찰 더욱 현저 CH 피크를 설명 할 수있는 바인딩 용 NI 피막이 가능 비교적 큰 간 특징 영역을 제공한다. 한편, 그 불균일 때문에 struc진짜야 (그림 6D 참조)),은 (Ag 나노 육각형 나노 육각형 기판에 포도당 바인딩 GBP에서 강한 CH 진동 밴드의 결과로 나노 육각형 내에서의 Ag 섬 사이의 좁은 틈에 강한 전자기 향상을 표시하는 경향이있을 수 있습니다. 이러한 작용의 일부 세부 사항은 상기 검증을 필요로하며, 이러한 GBP 큰 단백질을 포함하는 복잡한 분석을위한 SERS 기판의 최적화는 아직 파이프 라인.
다른 구성 요소가없는 반면 단지 리간드 선택된 영역 라만 활성 일 때 분명히 인식 요소로서 고정화 된 생체 분자를 이용한 SERS 리간드 결합 검출이 용이하게된다. 이 앱타 머가 결합 된 도파민의 SERS 뚜렷한 밴드 얻어 디자인 (3) (도 11)의 경우이다. 앱 타머 도파민 쌍은 우수한 특이성을 나타내고 SERS 스펙트럼은 어떤 중요한 배경 신호없이 두드러진 밴드를 포함한다.
<p class="jove_content"> 라벨 수수료 SERS 기술의 미래를 미리 다른 표면 나노 구조 설계의 넓은 범위의 생체 분자 'SERS 신호 향상의 광범위한 테스트를 포함한다. 직접 쓰기 전자빔 리소그래피의 사용은, 여기에 제시된 샘플 준비 프로토콜과 결합, 크기, 모양, 간 기능 분리 제어의 뛰어난 수준의 다양한 나노 구조를 제조하는 결과의 비교 및 교차 유효성 검사를 얻을 촉진 것 다른 연구 그룹에 의해. SERS 기판이 방법 11,12,13 "아래에서 위로"대안을 사용 제조되는 경우는 폭 넓은 다양한 최적의 기판 설계의 신뢰성 확인을 향해 금속 나노 구조의 크기와 위치의 더 나은 제어를 허용, 재현성의 주요 문제를 해결하는 것 응용 프로그램. 이러한 기술은 확장 성이어서 나노 보완 나노 리소그래피 방법과 EBL 조합함으로써 개선 될 수있다나노 스케일 설계 향후 양산 향하여 임프린트 리소그래피 19 EBL 가변 기법을 채용 최적화.The authors have nothing to disclose.
The authors would like to thank: David Wishart, Valentyna Semenchenko, Mark McDermott, Michael Woodside, and Albert Cao for their help in developing and preparing the protein conjugates as well as the DNA aptamer; T. M. Fahim Amin, Mosa Sharmin Aktar, and Trevor Olsen for their assistance in the sample preparation, Jonathan Mane for his assistance in generating images of the molecular structures; and the funding sources including the National Research Council of Canada – National Institute for Nanotechnology (NRC-NINT), Natural Sciences and Engineering Research Council of Canada (NSERC), and the University of Alberta for supporting the work.
11-Mercaptoundecanoic acid (MUA) | Sigma Aldrich (www.sigmaalrich.com) |
450561 ALDRICH | Used for surface functionalization in Design 1 |
Conductive polymer | Mitsubishi Rayon (www.mrc.co.jp) |
aquaSAVE-57xs | A 70 nm thick layer is used as anti-charging coating for EBL exposures |
D-glucose | Collaborator Lab. | Ligand in Design 2 | |
Dopamine | Collaborator Lab. | Ligand in Design 3 | |
Dopamine binding aptamer (DBA) | Integrated DNA Technologies Inc. (www.idtdna.com) |
5'- /Thiol Modifier C6 S-S/ AAAAAAAAAA GTCTCTGTGT GCGCCAGAGA ACACTGGGGC AGATATGGGC CAGCACAGAA TGAGGCCC-3' | Biopolymer in Design 3 |
Fused silica wafers | Mark Optics www.markoptics.com |
||
Glucose binding protein (GBP) | Collaborator Lab. (www.ncbi.nlm.nih.gov/protein/gi|145579532) |
PDB ID 2HPH | Biopolymer in Design 2 |
High vacuum grease | Dow Corning (www.dowcorning.com) |
Used to seal water-proof chamber, step 5.1 | |
Hydrogen Peroxide 30%, H2O2 | J.T. Baker | Used for pirahna solution, step 1.2 | |
N-ethyl-N'-(3-(dimethylamino) propyl) carbodiimide (EDC) | Sigma Aldrich www.sigmaaldrich.com |
03450 FLUKA | Used for immobilization of biopolymer in Design 1 |
N-Hydroxysuccinimide (NHS) | Sigma Aldrich (www.sigmaaldrich.com) |
130672 ALDRICH | Used for immobilization of biopolymer in Design 1 |
Potassium phosphate buffer | Collaborator Lab. | Buffer used in Raman sampling | |
Phosphate buffered | Collaborator Lab. | Solvent in Design 3 | |
saline (PBS) | |||
Polymethylmethacrylate (PMMA) 950 A2 | MicroChem (www.microchem.com) |
A 90 nm thick layer is used as EBL positive tone resist | |
Recombinant protein A | Protein Mods Inc (www.proteinmods.com) |
PDB ID 1BDD (www.rcsb.org/pdb/explore/explore.do?structureId=1bdd) |
Biopolymer in Design 1 |
Sulfuric acid 96%, H2SO4 | J.T. Baker | Used for pirahna solution, step 1.2 | |
Tris(hydroxymethyl)aminomethane (TRIS) and ethylenediaminetetraacetic acid (EDTA) buffer | Sigma Aldrich (www.sigmaaldrich.com) |
T9285 SIGMA | Buffer in Design 3 |
Dicing saw | Diamond Touch Technology Inc. | Used to cut FS wafer, step 1.1 | |
(17301 W Colfax Ave # 152, Golden, CO) | |||
Electron beam evaporator | Kurt J. Lesker (www.lesker.com) |
Used for Au and Ag evaporation | |
Electron beam evaporator | Johnsen Ultravac (JUV) (www.ultrahivac.com) |
JuV E-gun | Used for Ni evaporation |
Microscope cover slips (25 mm) | Fisher Scientific (www.fishersci.ca) |
12-545-102 | Used in water-proof chamber, step 5.1 |
Microscope slides (3×1 in.) | Fisher Scientific (www.fishersci.ca) |
Used in water-proof chamber, step 5.1 | |
Raith 150TWO EBL exposure system | Raith Inc. (www.raith.com) |
Raith 150TWO system | Used for EBL exposures, step 2.2 |
Raman microscope | Thermo Scientific (www.thermoscientific.com) |
Nicolet Almega XR | Used for Raman spectroscopy, step 5.3 |
Sonicator system | Branson (www.bransonic.com) |
Used for liftoff and solutions mixing | |
Spinner | Brewer Spinner and Hotplate (www.brewerscience.com) |
Cee 200X and Cee 1300X | Used to spin-coat PMMA and conductive polymer, step 2.1 |