We describe the fabrication and characterization of nano-biological systems interfacing nanostructured substrates with immobilized proteins and aptamers. The relevant experimental steps involving lithographic fabrication of nanostructured substrates, bio-functionalization, and surface-enhanced Raman spectroscopy (SERS) characterization, are reported. SERS detection of surface-immobilized proteins, and probing of protein-ligand and aptamer-ligand binding is demonstrated.
Productie en karakterisering van conjugaat nano-biologische systemen interfacing metallische nanostructuren op vaste dragers met geïmmobiliseerde biomoleculen gerapporteerd. De gehele sequentie van relevante experimentele stappen wordt beschreven, waarbij de fabricage van nanogestructureerde substraten elektronenstraal lithografie, immobilisatie van biomoleculen op het substraat, en de karakterisatie gebruik-Raman-spectroscopie (SERS). Drie verschillende ontwerpen van nano-biologische systemen worden gebruikt, met inbegrip van proteïne A, glucose-bindend eiwit, en een dopamine bindend DNA aptamer. In de laatste twee gevallen, de binding van de respectieve liganden, D-glucose en dopamine, is ook inbegrepen. De drie soorten biomoleculen geïmmobiliseerd op nanogestructureerde substraten door verschillende methoden, en de resultaten van SERS beeldvorming gerapporteerd. De mogelijkheden van SERS om trillingsmodes detecteren van het oppervlak geïmmobiliseerde eiwitten, alsook de eiwit-ligand een vastleggend aptameer-ligand binding worden gedemonstreerd. De resultaten tonen de invloed van het oppervlak nanostructuur geometrie biomoleculen immobilisatie strategie Raman activiteit van de moleculen en de aanwezigheid of afwezigheid van het ligand bindt de SERS-spectra verkregen.
Mogelijkheden om conjugaat nano-biologische systemen interfacing solide nanostructuren en biologische polymeren te ontwikkelen en te karakteriseren worden steeds belangrijker om verdere vooruitgang in de volgende generatie bio-sensing en bio-bediening technologieën 1,2. Dit houdt in multidisciplinaire studies over een aantal onderzoeksgebieden, zoals de fabricage van relevante solid-state componenten (micro- of nano-elektroden, nano-engineering coatings, nanodraden, of nanodeeltjes) 2,3,4; immobilisatie van biomoleculen aan de oppervlakken gewenste bioconjugaten 5,6,7 creëren; en controle nano-biologische interfaces 1. In de meeste gevallen, de selectie van optimale fabricage, bio-functionalisering en karakteriseringsmethoden sterk onderling verbonden. Het is duidelijk dat de keuze van nanofabricage technieken worden bepaald door de eisen van de halfgeleider componenten van het systeem, wordt grotendeels bepaald door de detectiemethode, die turn wordt bepaald door de aard van de betrokken biopolymeren en het doel van het toezicht op de interface.
Uit een grote verscheidenheid aan technieken toegepast bioconjugaat systemen 1,3, Raman spectroscopie (SERS) karakteriseren ontstaan als een veelbelovende methode voor de detectie van chemische en biologische species op oppervlakken 8,9,10,11. SERS telt inelastische verstrooiing van monochromatisch licht per oppervlak geïmmobiliseerde biomoleculen (figuur 1) waardoor de vangst van unieke signaturen overeenstemmen met moleculaire vibraties. Dit vermogen om onderscheid te maken tussen verschillende moleculen zonder tussenkomst labels, complexe chemie of tijdrovende stappen, maakt SERS een potentieel zeer efficiënte methode van bio-detectie. Een ander belangrijk voordeel van SERS is de hoge gevoeligheid. De excitatie van gelokaliseerde oppervlakteplasmonen door licht interactie met edele metalen nanostructuren (SERS substraten) verhoogt drastisch de intensity Raman verstrooiing door de analyt, waardoor de detectie van zeer kleine hoeveelheden moleculen van monolagen naar de single-molecule limit 8,9,10,11. Tenslotte meeste biomoleculen vereisen waterige oplossing stabiel. Omdat het water heeft vaak een beperkte Raman activiteit, wordt achtergrond signaal van waterige monsters geminimaliseerd 9. Toepassingen van SERS hebben een exponentiële toename van de afgelopen tien jaar 10 tentoongesteld. Echter, een veel besproken uitdaging SERS dat de elektromagnetische versterking van Raman verstrooiing hangt sterk af van de grootte, vorm en afstand van metalen nanostructuren waar plasmon golven geïnduceerd 11,12,13. Om een efficiënte en reproduceerbare SERS metingen te bereiken, controle over het substraat geometrie is vereist bij de afmetingen op nanoschaal.
Figuur 1. Scheem van Raman spectroscopie.
Tal van methoden gebruikt om SERS substraten 11,12,13 fabriceren kunnen grofweg worden ingedeeld in bottom-up en top-down-methoden. Werkwijzen van het eerste type dienst verschillende processen van zelfassemblage of gerichte chemische synthese nanostructuren te produceren. Vaak gericht voorbeelden omvatten immobilisatie van monodisperse nanopartikels op vaste dragers 11,12,13, thermische, sputteren of elektrochemische afzetting van ruw metaal films 11,12 en diverse chemische synthesewerkwijzen 13. Hoewel dergelijke technieken vaak relatief eenvoudig en goedkoop te zijn, de meeste van hen zijn uitgedaagd door een gebrek aan controle over de plaats van de structuren en beperkte sample to sample reproduceerbaarheid.
In tegenstelling, top-down lithografie technieken gebruiken manipuleerbare instrumenten zoals deeltjesstralen om gewenste patronen op oppervlakken te creëren. Eén van de meest gebruiktenanolithografie methoden, electron beam lithografie (EBL), biedt uitstekende controle over de functies neer op minder dan 10 nm en ook een flexibiliteit om verschillende substraat ontwerpen op vaste dragers 11,12. In EBL, een bundel elektronen gericht tot een vlek van enkele nanometers scans diameter over een oppervlak van een elektron gevoelig materiaal (resist) veroorzaakt een chemische verandering in belichte gebieden. Voor positieve toon weerstaat zoals polymethylmethacrylaat (PMMA), elektronenbundel belichtingsapparaat leidt splitsing van de polymeerketens waaruit de weerstand, waardoor een verhoogde oplosbaarheid in een geschikt oplosmiddel (ontwikkelaar). Het proces van electron-beam lithografie omvat spin-coating van een uniforme laag resist op een substraat; blootstelling van het beoogde resist materiaal in een vacuümkamer met een elektronenstraal; en ontwikkeling van het monster aan de oplosbare gebieden te verwijderen.
Diëlektrische dragers onder metallische nanostructuren, zoals gesmolten silica, hebben bEen een significante toename van de intensiteiten SERS door lokalisatie van plasmon golven vergeleken met andere materialen zoals silicium 14,15. Echter EBL patroon op diëlektrische substraten, in het bijzonder op nanoschaal, een veelzijdige uitdaging te wijten aan de opbouw tijdens de blootstelling te laden. Eerder hebben wij aangetoond 16,17 dat deze problemen kunnen worden overwonnen door het plaatsen van geleidende polymeerlagen boven de resist. Figuur 2 toont een schema van het totale fabricageproces met EBL belichting en ontwikkeling gevolgd door metaalafzetting en lancering metallische nanostructuren op gefuseerd produceren silica ondersteunt. Klik hier om een grotere versie van deze afbeelding te bekijken.
Figuur 2. Schema van eLectron lithografie, metalen afzetting, en lancering processtappen gebruikt om metalen nanostructuren op diëlektrische substraten 16-19 te fabriceren. In dit artikel presenteren we de hele reeks van processtappen waarbij SERS substraten fabricage door EBL, bio-functionalisering van de substraten, en verzamelen van de Raman spectra. Drie ontwerpen verkend in onze recente werken 18,19 worden aangepakt (zie figuren 3 en 4, en tabel 1). In Design 1, wordt recombinant eiwit A geïmmobiliseerd op biologisch gefunctionaliseerde Au nanostructuren op een gefuseerde silica (FS) steun 18 en SERS detectie van het eiwit wordt aangetoond. In Design 2, recombinant-glucose bindend eiwit 21,26,27 met en zonder ligand (D-glucose) wordt geïmmobiliseerd door middel van histidine-tags in de ruimten tussen Ag nanostructuren op Ni-beklede FS en de binding van glucose aan het eiwit gedetecteerd. In Design 3, gethioleerd-dopamine bindend DNEen aptameer 19,23 geïmmobiliseerd op Au nanostructuren op FS en de binding van dopamine door geïmmobiliseerde aptameer aangetoond. Inclusief alle relevante experimentele stappen van voorbereiding van de ondergrond tot Raman spectra acquisitie, en vertegenwoordiger van verschillende biomoleculen en strategieën van immobilisatie, deze voorbeelden zijn nuttig voor een breed scala aan toepassingen, van exploratie onderzoek ondervragen nano-biologische interfaces door SERS aan de ontwikkeling van SERS biosensoren van kleine moleculen in dienst eiwit- of aptamer-ligand binding als een erkenning methode. Klik hier om een grotere versie van deze afbeelding te bekijken.
Figuur 3. Schema van drie representatieve ontwerpen met behulp van verschillende biomoleculen, methoden van immobilizatie, en substraat materialen: (A) eiwit A geïmmobiliseerd op het edelmetaal nano-stippen gefunctionaliseerde door een zelf-geassembleerde monolaag (SAM) van 11-mercaptodecanoic zuur (MUA) in DI-water; (B) histidine-gemerkt glucose bindend eiwit (EUR) gecomplexeerd met D-glucose geïmmobiliseerd op het substraatoppervlak tussen edelmetaal nano-dots; (C) thiol-beëindigd dopamine binding aptamer aangevuld met dopamine (DBA) geïmmobiliseerd op edelmetaal nano-stippen. Zie verdere details in tabel 1. In Ontwerp 2 geïllustreerd door paneel (B), werd een monster zonder de corresponderende ligand ook voorbereid voor vergelijking. Klik hier om een grotere versie van deze afbeelding te bekijken.
Figuur 4.Biomoleculen toegepast in drie uitvoeringen: (A) proteïne A; (B) glucose bindend eiwit en D-glucose; (C) dopamine binding DNA aptamer en dopamine. Het eiwit tertiaire structuren (a) en (b) uit Protein Data Bank, PDB ID 1BDD 20 en 2HPH 21 respectievelijk en getekend met VMD voor LINUXAMD64, versie 1.9.1 22. De aptameer secundaire structuur (c) wordt voorspeld uit de sequentie 23 met ValFold 24 software en getekend met PseudoViewer 3.0 25. De letters G, A, T, en C komen overeen met guanine, adenine, thymine en cytosine nucleotiden, respectievelijk. Klik hier om een grotere versie van deze afbeelding te bekijken.
Ontwerp 1 </td> | Ontwerp 2 | Ontwerp 3 | |
Biopolymeer | Proteïne A | Glucose-bindend eiwit (GBP) | Dopamine bindende aptameer (DBA) |
Binder | 11-Mercaptoundecanoic zuur (MUA) zelf-geassembleerde monolaag (SAM) | Histidine-tags | Thiol linkers |
Ligand | Geen | D-glucose | Dopamine |
Oplossing | Gedemineraliseerd water (DI) | Kaliumfosfaatbuffer | Tris (hydroxymethyl) aminomethaan (TRIS) en ethyleendiaminetetra-azijnzuur (EDTA) buffer; Fosfaat gebufferde zoutoplossing (PBS) |
Substraat | Au structuren op FS | Ag structuren Ni-beklede FS | Au structuren op FS |
Patterned area | 4 urn x 10 urn | 4 micrometer x 8 urn | 4 urn x 10 urn |
Patroon | Au stippen, 50 nm toonhoogte | Ag stippen, 40 nm toonhoogte | Au zeshoeken, 200 nm toonhoogte |
Ag zeshoeken, 200 nm toonhoogte | Au ongestructureerde pads | ||
Ag ongestructureerde pads | |||
EBL blootstellingsdoses | Dots: | Dots: 105 uC / cm2 | Zeshoeken: 180 uC / cm2 |
Array I 120 uC / cm 2 | Zeshoeken: 170 uC / cm2 | ||
Array II 96 uC / cm 2 | |||
Array III 72uC / cm 2 | |||
Laserexcitatiegolflengte | 532 nm | 532 nm | 780 nm |
Tabel 1. Drie ontwerpen van nano-biologische systemen.
SERS is het verkrijgen van een erkenning als een bijzonder krachtige techniek van bio-detectie met vele unieke voordelen. De relatie met moleculaire vibraties laat toe selectie identificeren "vingerafdrukken" van specifieke te analyseren vanuit SERS spectra, terwijl de extreem hoge gevoeligheid maakt het mogelijk opsporen van zeer kleine hoeveelheden van de analyt 9,10,11,35. Bovendien SERS een destructieve techniek die relatief ongevoelig voor water, en daardoor is zeer geschikt voor het sonderen biologische materialen in hun natuurlijke waterige omgeving 9. De gepresenteerde resultaten benadrukken deze voordelen evenals verdere sterke potentieel van SERS te tonen als een zeer flexibel label-free techniek van bio-detectie. In drie uitvoeringen gebruik monolagen van verschillende substraat geïmmobiliseerde biomoleculen zijn Raman modi gedetecteerd dat vertrouwen kon worden toegeschreven aan de specifieke analyten. Dat de detectie van deze biomoleculen, or hun liganden zijn gebleken dienst vlakke oppervlakken van gesmolten silica als drager voor SERS substraten maakt het ontwerpen verenigbaar met de huidige elektronica en microfluïdische instellingen veelbelovende talrijke toepassingen in verband met nieuwe bio-elektronische interfacing platforms biologische materialen met oppervlakken van elektronische en elektrochemische apparaten 2,3. Belangrijk in twee van de drie ontwerpen SERS detectie aangetoond voor specifieke binding van kleine moleculen, zoals glucose en dopamine, gebruik monolagen van het oppervlak geïmmobiliseerde eiwit en aptameer respectievelijk de erkenning elementen.
Er moet echter verscheidene aspecten worden opgevangen om een efficiënte SERS bio-detectie in de instelling "on-chip" te bereiken. Allereerst een bekend probleem dat gemeenschappelijk is voor de meeste biomoleculen hun neiging te breken, vooral bij blootstelling aan niet-natuurlijke omstandigheden zoals droge enviving of intense laserlicht. Het hele protocol, hebben we het belang van altijd houden van de bio-gefunctionaliseerde monsters ondergedompeld in passende oplossingen gedurende de gehele experiment, vanaf de voorbereiding van de monsters aan de overname van Raman spectra benadrukt. Voor laatstgenoemde heeft een aangepaste waterdichte kamer ontworpen (Figuur 7) om verdamping van de vloeistof tijdens laser blootstelling vermijden. De duur van de blootstelling en laserintensiteit moet worden beperkt zoals beschreven in stap 5.3 van het protocol om beschadiging van de monsters te vermijden.
De uitkomsten van de SERS detectie zijn gevoelig voor de geometrie van het gebruikte substraat, en met name de inter-feature scheiding van de metallische nanostructuren gevonden. Zoals blijkt uit de figuren 8 en 9, de SERS intensiteit van Design 1 monsters sterk afhankelijk van de breedte van de spleten tussen Au nano-punten op fused silica. Van de drie reeksen van Au nanodots getest in dit ontwerp (figuur 8), wordt de hoogste Raman intensiteit bereikt met Array I, waarbij de smalste openingen tussen de Au eigenschappen heeft en daarom geeft efficiënter elektromagnetisch veld verbetering. Zoals figuur 9 toont, wordt de besturing van inter-feature scheidingen op het niveau van 10-20 nm of minder vereist. Gebruikmakend van EBL voor het vervaardigen van SERS substraten, zoals hier blijkt, biedt een efficiënte oplossing die specifiek voor het regelen van de breedte van de inter-functie hiaten. Bij een positieve-tint EBL weerstaan zoals PMMA, kan de grootte van gaten in PMMA maskers worden gevarieerd door eenvoudigweg veranderen van de blootstellingsdoses. Na lift-off dit tot verschillende maten van metaal stippen, en de breedte van de spleten tussen de punten kan worden afgesteld zoals gewenst door EBL juiste belichting selecteren doses 18.
De andere uitdaging is de optimalisatie van SERS substraat geometrie voor specifieke bio-detectie applicatie. Hoewel de toename van het increases met een daling van de inter-functie gaten, de relatief grote omvang van biologische moleculen legt beperkingen op hoe smal de gaten kunnen zijn. Dit blijkt uit de resultaten voor Design 2, waarbij de immobilisatie werkwijze is zodanig dat het eiwit efficiënt bindt alleen aan het oppervlak van edelmetaal stip, maar niet om de punten zelf (zie figuur 3B). Zoals blijkt uit figuur 10, de SERS spectra ongestructureerde Ag elektroden geen band van het analyt tonen. Hoewel de pads vertonen een nano-kristallijne structuur met een zeer dunne tussen de eilanden gaten (zie figuur 6F) deze lacunes zijn te smal om een eiwitmolecuul tegemoet te komen. Nog een ander aspect van complexiteit wordt toegevoegd wanneer eiwit-ligand-binding te detecteren. In figuur 10, de SERS CH banden zijn groter in de spectra van ligand gebonden GBP dan in het vrije ligand is, die hypothetisch kan worden verklaard door een verandering in de conformatie GBPna binding van D-glucose 2 7,27, resulterend in een meer rigide structuur met verhoogde Raman activiteit. Bij een vergelijking van de twee nanostructuur substraten, de CH band uit-ligand gratis eiwit is sterker in SERS spectra verkregen met de nano-stippen substraat, terwijl zowel het eiwit en glucose CH bands uit-ligand gebonden eiwit zijn meer uitgesproken met de nano-zeshoeken substraat. Twee factoren zullen naar verwachting resulteren in deze verschillen, de beschikbaarheid van ruimte tussen Ag voorzien waar de GBP kon binden aan Ni, en de gevoeligheid van het ligand gebonden en ligand vrij eiwit aan de elektromagnetische verhoging van de Raman scattering in de "hot spots" tussen deze functies. Enerzijds de nano-puntenpatroon biedt een relatief grotere inter-feature waar Ni coating is beschikbaar voor het eiwit te binden, die een meer uitgesproken CH band waargenomen voor glucosevrije GBP op Ag nano-dots substraat kan verklaren. Aan de andere kant, vanwege hun niet-uniform structuur (zie figuur 6D), Ag nano-zeshoeken zou kunnen zijn gevoelig voor een sterkere elektromagnetische verbetering in de smalle openingen tussen Ag eilanden binnen de nano-zeshoeken resulterend in sterkere CH trillingen bands uit glucose gebonden GBP op de nano-zeshoeken substraat tonen. Sommige details van deze wisselwerking nodig verdere controle en optimalisatie van SERS substraten voor complexe analyten met grote eiwitten zoals het GBP nog in de pijplijn.
Het is duidelijk dat SERS detectie van ligandbinding gebruik geïmmobiliseerd biomoleculen als herkenningselement vergemakkelijkt wanneer slechts de ligand Raman actief in een geselecteerd gebied, terwijl de andere componenten niet. Dit is het geval van Design 3, waar uitgesproken SERS bands van aptamer gebonden dopamine worden verkregen (Figuur 11). De aptamer dopamine-pair vertoont een uitstekende specificiteit en de SERS spectrum omvat uitgesproken bands zonder noemenswaardige achtergrond signaal.
<p class="jove_content"> Toekomst opmars van de label-fee SERS technologie zou uitgebreide testen van SERS enhancement biomoleculen 'signaal met een brede waaier van verschillende oppervlakte nanostructuur ontwerpen te betrekken. Het gebruik van direct-write elektronenbundellithografie aan verschillende nanostructuren te fabriceren met een uitstekende niveau van controle over de grootte, vorm, en inter-functie scheiding, in combinatie met de monstervoorbereiding protocollen hier wordt gepresenteerd, zou vergemakkelijken vergelijking en cross-validatie van de verkregen resultaten door verschillende onderzoeksgroepen. Dit zou de grote uitdaging van de reproduceerbaarheid te pakken wanneer SERS substraten worden gefabriceerd in dienst alternatieve "bottom-up" methoden 11,12,13, waardoor een betere controle van de grootte van metalen nanostructuren en positie naar een betrouwbare identificatie van optimale substraat ontwerp voor een breed scala aan toepassingen. Schaalbaarheid van deze technieken kan vervolgens worden verbeterd door het combineren EBL met complementaire nanolithografie methodes zoals nanoimprintlithografie 19 in de richting van de toekomstige massa-productie van nanoschaal ontwerpen geoptimaliseerd in dienst van de afstembare EBL technieken.The authors have nothing to disclose.
The authors would like to thank: David Wishart, Valentyna Semenchenko, Mark McDermott, Michael Woodside, and Albert Cao for their help in developing and preparing the protein conjugates as well as the DNA aptamer; T. M. Fahim Amin, Mosa Sharmin Aktar, and Trevor Olsen for their assistance in the sample preparation, Jonathan Mane for his assistance in generating images of the molecular structures; and the funding sources including the National Research Council of Canada – National Institute for Nanotechnology (NRC-NINT), Natural Sciences and Engineering Research Council of Canada (NSERC), and the University of Alberta for supporting the work.
11-Mercaptoundecanoic acid (MUA) | Sigma Aldrich (www.sigmaalrich.com) |
450561 ALDRICH | Used for surface functionalization in Design 1 |
Conductive polymer | Mitsubishi Rayon (www.mrc.co.jp) |
aquaSAVE-57xs | A 70 nm thick layer is used as anti-charging coating for EBL exposures |
D-glucose | Collaborator Lab. | Ligand in Design 2 | |
Dopamine | Collaborator Lab. | Ligand in Design 3 | |
Dopamine binding aptamer (DBA) | Integrated DNA Technologies Inc. (www.idtdna.com) |
5'- /Thiol Modifier C6 S-S/ AAAAAAAAAA GTCTCTGTGT GCGCCAGAGA ACACTGGGGC AGATATGGGC CAGCACAGAA TGAGGCCC-3' | Biopolymer in Design 3 |
Fused silica wafers | Mark Optics www.markoptics.com |
||
Glucose binding protein (GBP) | Collaborator Lab. (www.ncbi.nlm.nih.gov/protein/gi|145579532) |
PDB ID 2HPH | Biopolymer in Design 2 |
High vacuum grease | Dow Corning (www.dowcorning.com) |
Used to seal water-proof chamber, step 5.1 | |
Hydrogen Peroxide 30%, H2O2 | J.T. Baker | Used for pirahna solution, step 1.2 | |
N-ethyl-N'-(3-(dimethylamino) propyl) carbodiimide (EDC) | Sigma Aldrich www.sigmaaldrich.com |
03450 FLUKA | Used for immobilization of biopolymer in Design 1 |
N-Hydroxysuccinimide (NHS) | Sigma Aldrich (www.sigmaaldrich.com) |
130672 ALDRICH | Used for immobilization of biopolymer in Design 1 |
Potassium phosphate buffer | Collaborator Lab. | Buffer used in Raman sampling | |
Phosphate buffered | Collaborator Lab. | Solvent in Design 3 | |
saline (PBS) | |||
Polymethylmethacrylate (PMMA) 950 A2 | MicroChem (www.microchem.com) |
A 90 nm thick layer is used as EBL positive tone resist | |
Recombinant protein A | Protein Mods Inc (www.proteinmods.com) |
PDB ID 1BDD (www.rcsb.org/pdb/explore/explore.do?structureId=1bdd) |
Biopolymer in Design 1 |
Sulfuric acid 96%, H2SO4 | J.T. Baker | Used for pirahna solution, step 1.2 | |
Tris(hydroxymethyl)aminomethane (TRIS) and ethylenediaminetetraacetic acid (EDTA) buffer | Sigma Aldrich (www.sigmaaldrich.com) |
T9285 SIGMA | Buffer in Design 3 |
Dicing saw | Diamond Touch Technology Inc. | Used to cut FS wafer, step 1.1 | |
(17301 W Colfax Ave # 152, Golden, CO) | |||
Electron beam evaporator | Kurt J. Lesker (www.lesker.com) |
Used for Au and Ag evaporation | |
Electron beam evaporator | Johnsen Ultravac (JUV) (www.ultrahivac.com) |
JuV E-gun | Used for Ni evaporation |
Microscope cover slips (25 mm) | Fisher Scientific (www.fishersci.ca) |
12-545-102 | Used in water-proof chamber, step 5.1 |
Microscope slides (3×1 in.) | Fisher Scientific (www.fishersci.ca) |
Used in water-proof chamber, step 5.1 | |
Raith 150TWO EBL exposure system | Raith Inc. (www.raith.com) |
Raith 150TWO system | Used for EBL exposures, step 2.2 |
Raman microscope | Thermo Scientific (www.thermoscientific.com) |
Nicolet Almega XR | Used for Raman spectroscopy, step 5.3 |
Sonicator system | Branson (www.bransonic.com) |
Used for liftoff and solutions mixing | |
Spinner | Brewer Spinner and Hotplate (www.brewerscience.com) |
Cee 200X and Cee 1300X | Used to spin-coat PMMA and conductive polymer, step 2.1 |