Summary

Fabricage, bediening en Flow Visualization in Surface-akoestische-wave-driven Acoustic-tegenstroom Microfluidics

Published: August 27, 2013
doi:

Summary

In deze video beschrijven we eerst de fabricage en de werking procedures van een surface acoustic wave (SAW) akoestische tegenstroom apparaat. Vervolgens tonen een experimentele situatie dat zowel stromingsvisualisatie kwalitatieve en kwantitatieve analyse van complexe stromen binnen de SAW pompinrichting.

Abstract

Oppervlak akoestische golven (zagen) kan worden gebruikt om vloeistoffen in draagbare microfluïdische chips stimuleren via het akoestische verschijnsel tegenstroom. In deze video presenteren we de fabricage protocol voor een meerlaags SAW akoestische tegenstroom apparaat. Het apparaat is vervaardigd uitgaande van een lithiumniobaat (LN) substraat waarop twee interdigitale omvormers (IDT) en geschikte merkers zijn patroon. Een polydimethylsiloxaan (PDMS) kanaal werpen op een SU8 meester mal is tenslotte gebonden aan het patroon substraat. Na de fabricage procedure, tonen we de technieken die de karakterisering en de werking van de akoestische tegenstroom apparaat toestaan ​​om vloeistoffen te pompen door de PDMS zenderoverzicht. We eindelijk presenteren de procedure om vloeistofstroom te visualiseren in de kanalen. Het protocol wordt gebruikt voor on-chip vloeistof verpompen onder verschillende stroomsnelheden regimes als laminaire stroming ingewikkelder dynamiek gekenmerkt door draaikolken en partikels domeinen tonen.

Introduction

Een van de voortdurende uitdagingen de microfluïdische gemeenschap is de noodzaak om een ​​efficiënt pompende werking kan worden verkleind is om in echt draagbare micro-total-analysesystemen (μTAS's) hebben. Standard macroscopische pompsystemen enkel nalaat de draagbaarheid vereist μTAS's bieden, wegens de ongunstige schaling van het debiet als kanaal verkleint naar de micron of lager. Integendeel, zagen hebben opgedaan toenemende belang fluïdum bedieningsmechanismen en verschijnen als een veelbelovende mogelijkheid voor de oplossing van een aantal van deze problemen 1,2.

Zagen werden getoond aan een zeer efficiënt mechanisme van energietransport in vloeistoffen 3 bieden. Wanneer een SAW propageert op een piëzo-elektrisch substraat, zoals lithiumniobaat (LN), de golf wordt schuin bekend als de Rayleigh hoek θ = R sin uitgestraald in een vloeistof in zijn pad722, 1 (c f / c s), vanwege de mismatch van geluid snelheden in het substraat, c s en de vloeistof f c. Deze lekkage van straling in de vloeistof leidt tot een drukgolf die de akoestische streaming drijft in het fluïdum. Afhankelijk van het apparaat geometrie en aangelegd op de inrichting, werd dit mechanisme aangetoond dat een grote verscheidenheid van on-chip processen, zoals vloeistofmenging deeltje sorteren, verneveling en pompen 1,4 bedienen. Ondanks de eenvoud en effectiviteit van het bedienen van microfluids met SAW, zijn er slechts een klein aantal van de SAW gereden microfluïdische pompen mechanismen die zijn aangetoond tot op heden. De eerste demonstratie was de simpele vertaling van vrije druppeltjes geplaatst in de SAW propagatiepad op een piëzo-elektrisch substraat 3. Deze nieuwe methode gegenereerd veel belangstelling voor het gebruik zagen als microfluidic bediening methode, maar er was nog steeds behoefte aan vloeistoffenworden aangedreven door middel van bijgevoegde kanalen-een moeilijke taak. Tan et al.. Aangetoond pompen binnen een microchannel dat is laser ablatie direct in het piëzo-elektrische substraat. Door geometrische modificatie met betrekking tot het kanaal en IDT afmetingen, konden zij zowel uniform mengen stromen tonen 5. Glas et al.. Onlangs aangetoond een methode van het verplaatsen van vloeistoffen door microkanalen en microfluïdische onderdelen door het combineren van SAW bediend rotaties met centrifugale microfluidics, als een demonstratie van ware miniaturisatie van de populaire Lab-on-a-cd concept van 6,7. De enige volledig gesloten SAW gedreven pompmechanisme dat is aangetoond nog worden Cecchini et al.. 'S SAW-driven akoestische tegenstroom-8 de focus van deze video. Dit systeem benut de verneveling en coalescentie van een fluïdum te pompen door een gesloten kanaal in de richting tegen de voortplantingsrichting van eencoustic wave. Dit systeem kan leiden tot verrassend complex stromen in een microkanaal. Bovendien, afhankelijk van het apparaat geometrie kan hiermee een reeks stroom regelingen van laminaire stromen naar complexere regimes gekenmerkt door draaikolken en deeltjes-accumulatie domeinen. De mogelijkheid om eenvoudig te beïnvloeden de stroming kenmerken binnen de inrichting toont mogelijkheden voor geavanceerde on-chip deeltje manipulatie.

In dit protocol willen we de belangrijkste aspecten van de praktische SAW-gebaseerde microfluidics verduidelijken: apparaat fabricage, experimentele operatie, en de stroom visualisatie. Hoewel we deze expliciet beschreven procedures voor de fabricage en werking van SAW-driven tegenstroom akoestische apparaten, kunnen deze secties gemakkelijk worden aangepast voor de toepassing van een aantal SAW-driven microfluidic regimes.

Protocol

1. Apparaat Fabrication Ontwerp twee fotomaskers, de eerste voor patroonvorming de surface acoustic wave (SAW) laag, en de tweede voor het polydimethylsiloxaan (PDMS) microchannel schimmel. De eerste fotomasker heeft een paar tegenover elkaar interdigital transducers (IDP's)-ook wel bekend als een SAW delay lijn-en markers voor kanaal uitlijning en ruimtelijke referentie tijdens de microscopie. In onze standaard inrichting hebben wij enkele elektrode IDP's met een vinger breedte p = …

Representative Results

Figuur 2 toont representatieve resultaten van apparaat RF testen die werden genomen voorafgaand aan het hechten van de laag aan de LN microkanaal laag: typisch S 11 en S 12 spectra worden respectievelijk vermeld in deel a) en b). De diepte van het dal aan centrale frequentie spectrum S 11 is gerelateerd aan de efficiëntie van de omzetting van RF vermogen in SAW mechanische energie. Vandaar dat voor een vast aantal IDT vingerparen, een v…

Discussion

Een van de grootste uitdagingen voor de microfluïdische gemeenschap is de realisatie van een bediening platform voor echt draagbare point-of-care apparatuur. Onder de voorgestelde geïntegreerde micropompen 23, die op basis van oppervlakte akoestische golven (vzzmh) zijn bijzonder aantrekkelijk vanwege hun bijbehorende capaciteiten in vloeistof mengen, verneveling en deeltjes concentratie en scheiding 4. In dit artikel hebben we aangetoond hoe te fabriceren en exploiteren van een lab-on-chip appar…

Disclosures

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

Auteurs hebben niemand te erkennen.

Materials

Name Company Catalog Number Comments
Double side polished 128° YX lithium niobate wafer Crystal Technology, LLC
Silicon wafer Siegert Wafers We use <100>
IDT Optical lithography mask with alignment marks (positive) Any vendor
Channel Optical lithography mask (negative) Any vendor
Positive photoresist Shipley S1818
Positive photoresist developer Microposit MF319
Negative tone photoresist Allresist AR-N-4340
Negative tone photoresist developer Allresist AR 300-475
SU8 thick negative tone photoresist Microchem SU-8 2000 Series
SU8 thick negative tone photoresist developer Microchem SU-8 developer
Hexadecane Sigma-Aldrich H6703
Carbon tetrachloride (CCl4) Sigma-Aldrich 107344
Octadecyltrichlorosilane (OTS) Sigma-Aldrich 104817
Acetone CMOS grade Sigma-Aldrich 40289
2-propanol CMOS grade Sigma-Aldrich 40301
Titanium Any vendor 99.9% purity
Gold Any vendor 99.9% purity
PDMS Dow Corning Sylgard 184 silicone elastomer kit with curing agent
Petri dish Any vendor
5 mm ID Harris Uni-Core multi-purpose coring tool Sigma-Aldrich Z708895 Any diameter greater than 2 mm is suitable
Acoustic absorber Photonic Cleaning Technologies First Contact regular kit
RF-PCB Any vendor
Spinner Laurell technologies corporation WS-400-6NPP Any spinner can be used
UV Mask aligner Karl Suss MJB 4 Any aligner can be used
Thermal evaporator Kurt J. Lesker Nano 38 Any thermal, e-beam evaporator or sputtering system can be used
Oxygen plasma asher Gambetti Kenologia Srl Colibrì Any plasma asher or RIE machine can be used
Centrifuge Eppendorf 5810 R Any centrifuge can be used
Wire bonder Kulicke & Soffa 4523AD Any wire bonder can be used if the PCB is used without pogo connectors
Contact Angle Meter KSV CAM 101 Any contact angle meter can be used
Spectrum analyzer Anristu 56100A Any spectrum or network analyzer can be used
RF signal generator Anristu MG3694A Any RF signal generator can be used
RF high power amplifier Mini Circuits ZHL-5W-1 Any RF high power amplifier can be used
Microbeads suspension Sigma-Aldrich L3280 Depending on the experimental purpose different suspension of different diameter and different material properties can be used
Optical microscope Nikon Ti-Eclipse Any optical microscope with spatial resolution satisfying experimental purposes can be used
Video camera Basler A602-f Any video camera that has enough frame rate and sensitivity satisfying experimental purposes can be used
Camera acquisition software Advanced technologies Motion Box Any software enabling high and controlled frame rate acquisition can be used

References

  1. Masini, L., Cecchini, M., Girardo, S., Cingolani, R., Pisignano, D., Beltram, F. Surface-acoustic-wave counterflow micropumps for on-chip liquid motion control in two-dimensional microchannel arrays. Lab on a Chip. 10 (15), 1997-2000 (2010).
  2. Travagliati, M., De Simoni, G., Lazzarini, C. M., Piazza, V., Beltram, F., Cecchini, M. Interaction-free, automatic, on-chip fluid routing by surface acoustic waves. Lab on a Chip. 12 (15), 2621-2624 (2012).
  3. Wixforth, A. Acoustically driven planar microfluidics. Superlattices and Microstructures. 33 (5), 389-396 (2003).
  4. Friend, J., Yeo, L. Y. Microscale acoustofluidics: Microfluidics driven via acoustics and ultrasonics. Reviews of Modern Physics. 83 (2), 647-64 (2011).
  5. Tan, M. K., Yeo, L. Y., Friend, J. R. Rapid fluid flow and mixing induced in microchannels using surface acoustic waves. Europhysics Letters. 87, 47003 (2009).
  6. Glass, N., Shilton, R., Chan, P., Friend, J., Yeo, L. Miniaturised Lab-on-a-Disc (miniLOAD). SMALL, Small. 8 (12), 1880-1880 (2012).
  7. Madou, M. J., Kellogg, G. J. LabCD: a centrifuge-based microfluidic platform for diagnostics. Proceedings of SPIE. 3259, 80 (1998).
  8. Cecchini, M., Girardo, S., Pisignano, D., Cingolani, R., Beltram, F. Acoustic-counterflow microfluidics by surface acoustic waves. Applied Physics Letters. 92 (10), 104103 (2008).
  9. Campbell, C. . Surface acoustic wave devices for mobile and wireless communications. 1, (1998).
  10. Hashimoto, K. Y. . Surface acoustic wave devices in telecommunications: modelling and simulation. , (2000).
  11. Royer, D., Dieulesaint, E. Elastic Waves in Solids II. Generation, Acousto-Optic Interaction, Applications. 2, (2000).
  12. Renaudin, A., Sozanski, J. P., Verbeke, B., Zhang, V., Tabourier, P., Druon, C. Monitoring SAW-actuated microdroplets in view of biological applications. Sensors and Actuators B: Chemical. 138 (1), 374-382 (2009).
  13. Glass, N. R., Tjeung, R., Chan, P., Yeo, L. Y., Friend, J. R. Organosilane deposition for microfluidic applications. Biomicrofluidics. 5 (3), 036501 (2011).
  14. Wereley, S. T., Meinhart, C. D. Recent advances in micro-particle image velocimetry. Annual Review of Fluid Mechanics. 42, 557-576 (2010).
  15. Augustsson, P., Barnkob, R., Wereley, S. T., Bruus, H., Laurell, T. Automated and temperature-controlled micro-PIV measurements enabling long-term-stable microchannel acoustophoresis characterization. Lab on a Chip. 11 (24), 4152-4164 (2011).
  16. Hebert, B., Costantino, S., Wiseman, P. W. Spatiotemporal image correlation spectroscopy (STICS) theory, verification, and application to protein velocity mapping in living CHO cells. Biophysical Journal. 88 (5), 3601 (2005).
  17. Rossow, M., Mantulin, W. W., Gratton, E. Spatiotemporal image correlation spectroscopy measurements of flow demonstrated in microfluidic channels. Journal of Biomedical Optics. 14 (2), 024014 (2009).
  18. Schindelin, J., Arganda-Carreras, I., Frise, E., Kaynig, V., Longair, M., Pietzsch, T., Preibisch, S., Rueden, C., Saalfeld, S., Schmid, B., et al. Fiji: an open-source platform for biological-image analysis. Nature Methods. 9 (7), 676-682 (2012).
  19. Rogers, P. R., Friend, J. R., Yeo, L. Y. Exploitation of surface acoustic waves to drive size-dependent microparticle concentration within a droplet. Lab on a Chip. 10 (21), 2979-2985 (2010).
  20. Muller, P. B., Barnkob, R., Jensen, M. J. H., Bruus, H. A numerical study of microparticle acoustophoresis driven by acoustic radiation forces and streaming-induced drag forces. Lab on a Chip. 12 (22), 4617-4627 (2012).
  21. Luo, J. K., Fu, Y. Q., Li, Y., Du, X. Y., Flewitt, A. J., Walton, A. J., Milne, W. I. Moving-part-free microfluidic systems for lab-on-a-chip. Journal of Micromechanics and Microengineering. 19 (5), 054001-05 (2009).
  22. Lindken, R., Rossi, M., Große, S., Westerweel, J. Micro-particle image velocimetry (μPIV): recent developments, applications, and guidelines. Lab on a Chip. 9 (17), 2551-2567 (2009).
  23. Gedge, M., Hill, M. Acoustofluidics 17: Theory and applications of surface acoustic wave devices for particle manipulation. Lab on a Chip. 12 (17), 2998-3007 (2012).

Play Video

Cite This Article
Travagliati, M., Shilton, R., Beltram, F., Cecchini, M. Fabrication, Operation and Flow Visualization in Surface-acoustic-wave-driven Acoustic-counterflow Microfluidics. J. Vis. Exp. (78), e50524, doi:10.3791/50524 (2013).

View Video